智能传感与检测技术 教案 4 压电式传感器.docx

《智能传感与检测技术》课程教案

授课章节

第4章压电式传感器

4.1压电元件与压电效应

建议课时

2

授课方式

理论知识讲授+课堂提问+课堂讨论+图片展示+多媒体演示

所属专业

教学目标

了解压电元件分类；掌握压电效应

教学重点

石英晶体的轴和面以及压电现象

教学难点

压电效应产生的原因

参考教材

《智能传感与检测技术》徐小华主编机械工业出版社ISBN978-7-111-76072-6

教

学

内

容

『新课导入』

压电式传感器是利用某些电介质受力后产生压电效应制成的传感器，是一种典型的自发电式传感器。它以某些电介质在受到某一方向的外力作用而发生形变（包括弯曲和伸缩形变）时，由于内部电荷的极化现象，会在其表面产生电荷为基础，从而实现非电量电测的目的。压电传感元件是力敏感元件，它可以测量最终能变换为力的非电物理量，例如动态力、动态压力、振动加速度等，但不能用于静态参数的测量。

【课堂提问】谁能举例说明生活中接触到的压电式传感器？

『授课内容』

4.1.1压电元件

压电式传感器中的压电元件一般有三类：

压电晶体（单晶体）

经过极化处理的压电陶瓷（多晶体）

高分子压电材料

石英（SiO2）晶体结晶形状为六角形晶柱。两端为一对称的棱锥，六棱柱是它的基本组织，如果从晶体中切下一个平行六面体，这个晶片在正常状态下不呈现电性。

【图片展示】如图4-1所示。

压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它由无数细微的电畴组成。这些电畴实际上是分子自发极化的小区域。在无外电场作用时，各个电畴在晶体中杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消了，因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。为了使压电陶瓷具有压电效应，必须在一定温度下做极化处理。极化处理之后，陶瓷材料内部存在有很强的剩余极化强度，当压电陶瓷受外力作用时，其表面也能产生电荷，所以压电陶瓷也具有压电效应。

【图片展示】如图4-2所示。

高分子压电材料是近年来发展很快的一种新型材料。典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯（PVF2或PVDF）、聚氟乙烯（PVF）、改性聚氯乙烯（PVC）等。其中以PVDF的压电常数最高，有的材料可比压电陶瓷还要高十几倍。其输出脉冲电压有的可以直接驱动CMOS集成门电路。

【图片展示】

4.1.2压电效应

压电效应可分为正压电效应和逆压电效应。

正压电效应是指：某些物质，当沿着一定方向对其加力而使其变形时，在一定表面上将产生电荷，当外力去掉后，又重新回到正常的不带电状态，这种现象称为正压电效应。当外力作用方向改变，电荷的极性也随之改变；晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。压电式传感器大多是利用正压电效应制成的。

【图片展示】图4-3是正压电效应的示意图。

逆压电效应是指：如果在这些物质的极化方向施加电场，这些物质就在一定方向上产生机械变形或机械应力，当外电场撤去时，这些变形或应力也随之消失，这种现象称之为逆压电效应，或称之为电致伸缩效应。用逆压电效应制造的变送器可用于电声和超声工程。

下面讲解正压电效应：

石英晶体的三个轴：

纵向轴称为光轴，也称z轴，有折光效应，没有压电效应

经过正六面体棱线，并垂直于光轴的轴线称为电轴，也称x轴

经过正六面体的棱面且垂直于光轴的轴线称为机械轴，也称y轴

【图片展示】

石英晶体的三个面：

垂直于光轴（z轴）的面称为z面

垂直于电轴（x轴）的面称为x面

垂直于机械轴（y轴）的面称为y面

【图片展示】

电荷只产生在与x轴垂直的x面的前后两侧。

【课堂讨论】为什么电荷只产生在与x轴垂直的x面的前后两侧？

石英晶体的x、y轴向受力产生电荷比较：

在x轴方向上施加压力Fx时，在x面上产生的电荷：

式中d11为x方向受力的压电系数。

在y轴方向施加压力Fy时，则仍在x面上产生电荷：

式中d12为y轴方向受力的压电系数，l、δ为石英晶片的长度和厚度。

【图片展示】

当石英晶体未受外力作用时，如图（a）所示，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。因为P=ql,q为电荷量，l为正负电荷之间距离。此时正负电荷重心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即P1+P2+P3=0，所以晶体表面不产生电荷，即呈中性。

当石英晶体受到沿x轴方向的压力作用时，晶体沿x方向将产生压缩变形，正负离子的相对位置也随之变动，如图（b）所示，此时正负电荷重心不再重合，电偶极矩在x方向上的分量由于P1的减小和P2、P3的增加而不等于零。在x面上出现电荷，它的极性为在x轴正向出现负电荷，x轴负向出现正电荷。在y轴方向上的电偶极距的分量为零，不出现电荷。

当晶体受到沿y轴方向的压力作用时，晶体的变形如图（c）所示。P1增大，P2、P3减小。在x面上出现电荷，它的极性为在x轴正向出现