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助锨材斟２００７年第１０期（３８）卷

利用微弧氧化法制备四方相ＢａＴｉＯ３薄膜的结构特征及铁电性能

李文芳，韩冰，彭继华

（华南理工大学机械工程学院，广东广州５１０６４０）

摘要：利用微孤氧化技术在钛衬底上直接制备了低的电解液温度。对所制备薄膜的相结构、介电和铁

四方相钛酸钡铁电薄膜。利用Ｘ射线（ＸＲＤ）、电性能进行了分析，其中所得到的薄膜具有良好的铁

ＨＰ４１９２Ａ阻抗分析仪和铁电测试系统（ＦＴＳ）等手段电性能。

对薄膜样品的相结构、介电和铁电性能进行了研究。

２实验方法

结果表明，工艺参数为Ｂａ（ＯＨ）浓度为０．５ｍｏｌ／Ｌ，电

流密度为１５０ｍＡ／ｃｍ，温度为５７℃，反应时间５～试样为工业纯Ｔｉ（９９．５）板，经９００砂纸磨光

２０ｍｉｎ的薄膜主要要由四方相ＢａＴｉＯ３构成。在微孤后，用２５（体积分数）ＨＦ和７５（体积分数）ＨＮＯ。

氧化过程中，孤点的连续移动是形成四方相ＢａＴｉＯ。的溶液进行表面预处理，清除试样表面粘着的砂粒等

的主要原因。此工艺参数下薄膜的剩余极化值为杂质，同时对试样具有抛光作用，最后用蒸馏水清洗。

０．２７１和一４．６２ｇＣ／ｃｍ。（Ｐ），与其对应的矫顽场强度实验用微弧氧化直流电源为ＷＹＫ型稳压直流电源，

分别为２Ｏ和一２．８ｋＶ／ｃｍ（Ｅ）。该薄膜具有良好的铁该电源工作方式可选择恒流或恒压输出。最大输出电

电性能。压为６ＯＯＶ，电流输出范围为０．１～１ＯＡ。采用Ｔｉ板

关键词微弧氧化：；铁电薄膜；ＢａＴｉＯ。；电滞回线做微弧氧化电源的阳极和不锈钢做微弧氧化电源的阴

中图分类号：ＴＭ２２文献标识码：Ａ极，采用０．５ｍｏｌ／Ｌ的Ｂａ（ＯＨ）。水溶液作为电解液，

文章编号：１００１－９７３１（２００７）１Ｏ一１６２４－０３电解液的温度控制在５７℃，电流密度为１５０ｍＡ／ｃｍ。，

微弧氧化时间分别为５、１Ｏ和２０ｍｉｎ。

１引言

利用ＰｈｉｌｉｐｓＸ’ｐｅｒｔＭＰＤ型Ｘ射线衍射仪分析

ＢａＴｉＯ。薄膜具有大的介电常数及光电系数等优微弧氧化薄膜层的相组成；利用惠普阻抗分析仪

良性能，它在高容量薄膜电容器［１］、光波导管器件［上２（ＨＰ４１９２Ａ）测量了薄膜的介电常数和介电损耗在不

有着重要的应用，同时还是非易失性铁电存储器［的３同频率下随温度的变化关系；利用标准精度专业铁电

后选材料。测试系统（ＳＰＰＦＴＳ）测试了薄膜的电滞回线。

作为一种新型的材料加工工艺，微弧氧化（ＭＡＯ）

３实验结果与分析

技术与其它材料表面处理技术相比较具有自身的一些

特点。它的操作简单，元污染，可通过改变工艺参数获３．１薄膜的相组成

取具有不同特性的陶瓷膜层【４］，且陶瓷层与基体之图１为Ｂａ（ＯＨ）。浓度为０．５ｍｏｌ／Ｌ，电流密度为

间的结合为冶金结合，结合性能良好，使得陶瓷层不易１５０ｍＡ／ｃｍ。，温度为５７℃，反应时间５￣２０