SENSIRION SFC4000 气体质量流量控制器 说明书 .pdf

SFC4000

气体质量流量控制器

—高精度质量流量控制器（精度为设定值0.8%）

—CMOSens专利技术卓越的性价比

®

—响应时间快（设定值2%范围内0.1秒）

—模拟输入输出接口（标准0-5V）

—单极电源供电（+14-24VDC）

—数字化标定，经过温度补偿

—连接尺寸与其它的标准质量流量控制器兼容

—NIST可追踪标定

2006年3月–V2.2

SwagelokfittingsDownmountfittings



CMOSensSFC4000产品概述

SFC4000CMOSens®质量流量控制器能够在较宽CMOSens®传感器由不锈钢真空封装，有坚固的

的量程范围内快速而精确的控制气体流量。其铝制外壳。在很多领域有广泛的应用，例如，

性能由Sensirion卓越的CMOSens®传感器技术支过程控制中的质量流量控制，医疗器械，燃料

持，将高精度的传感元件和A/D转换放大电路电池，以及气体流量计量等。

连接在同一个CMOS芯片上。经过数字化标定SFC4000提供输入输出信号（0—5V）模拟

和温度补偿传感器信号可直接在芯片上转换成电气接口，所需供电电压是+14—24VDC标准电

PWM信号，用快速模拟控制电路来控制阀门动源电压。可在10bar(145psi)输入压力下操作。

作。因此，SFC4000的精度高，响应速度快，量SFC4000是SensirionPC1流量控制器的优化产

程比宽（1:1000）。品。SFC4000与PC1高度兼容并能提供更好的

性能规范和更简便的供电模式。

盛思锐贸易（深圳）有限公司Sensirion-thesensorcompany

SFC4000MassFlowControllerforGases

Setpoint

Controller

(0-5Vdc)

Measured

MassFlow

(0-5Vdc)®

CMOSensChip

linearised

temperature

DigitalcompensatedAmplifier

linearisationsignal

temperature

compensation

rawdata

(On-Chip)

fromthe

on-chipsensor

Input

pressurePControlledMass

1