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真空镀膜设备电磁兼容与辐射安全技术规范

1范围

本文件规定了真空镀膜设备电磁兼容与辐射安全的术语和定义、技术要求和试验方法。

本文件适用于电气工作频率在0Hz～40MHz范围内的工业用真空镀膜设备（以下简称“设备”）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T4365—2003电工术语电磁兼容

GB4824—2019工业、科学和医疗设备射频骚扰特性限值和测量方法

GB/T17626.3电磁兼容试验和测量技术射频电磁场辐射抗扰度试验

GB/T20673电磁屏蔽橡胶衬垫材料规范

GB/T25471电磁屏蔽涂料的屏蔽效能测量方法

GB/T26667电磁屏蔽材料术语

GB/T21067—2010工业机械电气设备电磁兼容通用抗扰度要求

GB23313工业机械电气设备电磁兼容发射限值

GB/T25471—2010电磁屏蔽涂料的屏蔽效能测量方法

GB/T30139—2013工业用电磁屏蔽织物通用技术条件

GB/T32511—2016电磁屏蔽塑料通用技术规范

GB/T32995—2016电磁屏蔽玻璃

GB/T34938平面型电磁屏蔽材料通用技术要求

GB/T35675—2017电磁屏蔽用金属化纤维通用技术要求

GB/T36763—2018电磁屏蔽用硫化橡胶通用技术要求

CB1337—1998舰船用电磁屏蔽门规范

QJ3035—1998电子机柜电磁屏蔽要求和测试方法

3术语和定义

GB/T4365、GB/T17626.3、GB/T21067和GB/T26667界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1

电磁兼容性electromagneticcompatibility

设备或系统在其电磁环境中能正常工作且不对该环境中任何事物构成不能承受的电磁骚扰的能力。3.2

电磁干扰electromagneticinterference

电磁骚扰引起的设备、传输通道或系统性能的下降。

3.3

2

（电磁）辐射（electromagnetic）radiationa）能量以电磁波形式由源发射到空间的现象。

b）能量以电磁波形式在空间传播。

3.4

受试设备equipmentundertest

用来接受试验的设备。

4技术要求

4.1使用频率

根据国际电信联盟（ITU）的指配频率表，设备使用的射频电气设备频率应符合GB4824中的规定。

4.2材料

设备所使用的各类屏蔽材料应符合GB/T34938的规定。

4.3镀膜机腔体

4.3.1腔室应形成一个连续的导电面，在导电面上，任何两点的直流电阻应不超过10mΩ。

4.3.2除门以外的腔室结构应确保连续焊接。

4.3.3腔门的跨接线一般以编结铜丝与连接件组成，一端可与金属腔壁板通过螺栓、螺母、弹簧、垫圈紧固。

4.3.4腔门的电磁屏蔽效能应不低于CB1337—1998中规定的3级屏蔽门要求。

4.3.5所用橡胶衬垫应符合GB/T20673的要求。

4.3.6视窗用玻璃的外观质量应符合GB/T32995—2016中5.3的规定。

4.3.7腔体外表面裸漏的宽度大于10mm的缝隙应使用适当电磁屏蔽材料做防辐射处理。

4.4电子机柜

4.4.1额定电压不超过AC1000V、DC1500V及额定频率不超过200Hz的电子（电气）设备及系统的发射限值和通用抗扰度应分别符合GB23313、GB/T21067的要求。

4.4.2电子机柜的屏蔽效能应符合QJ3035—1998中5.1规定的“二类屏蔽”要求。

4.4.3电子机柜主要屏蔽壳体、骨架构件、面板构件等组成，除焊接连接外，所有可拆连接的接触面均应导电。

4.4.4电子机柜壳体上的孔、缝隙的设计应全部满足屏蔽效能的要求。

4.4.5电子机柜交流电源输入端口加装滤波器，其插入损耗满足屏蔽指标要求，信号端口在联机时由电缆屏蔽层封闭，要求端口连接器与构件有良好的搭接性能。

4.4.6电子机柜及构件应有良好接地。

4.5电磁辐射干扰限值

4.5.1对1台设备进行现场测试时，电磁辐射干扰限值应符合表1的规定。

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表1电磁辐射干扰限值

频段

MHz

距离所在建筑物外墙30m的限值

电场准峰值

dB(μV/m）

磁场准峰值d