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《互补型晶格畸变对CrTiAlN硬质膜性能的影响研究》
一、引言
硬质膜材料因其高硬度、良好的耐磨性及化学稳定性，在切削工具、模具、机械部件等领域具有广泛的应用。近年来，CrTiAlN硬质膜因其优异的综合性能受到了研究者的广泛关注。互补型晶格畸变作为一种重要的材料结构特征，对硬质膜的性能具有显著影响。本文以CrTiAlN硬质膜为研究对象，探讨了互补型晶格畸变对其性能的影响机制，为进一步优化硬质膜的制备工艺及性能提供理论依据。
二、CrTiAlN硬质膜的制备及结构特征
CrTiAlN硬质膜的制备通常采用物理气相沉积（PVD）技术。在制备过程中，通过控制沉积参数，如温度、压力、气体流量等，可以调控
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