洁净区尘埃粒子数监测标准操作规程.pdfVIP

以家为家，以乡为乡，以国为国，以天下为天下。——《管子》

洁净区尘埃粒子数监测标准操作编号SOP•09•1017

文件

规程版本2页码1/4

编制日期替代∕

审定日期颁发质量保障部

批准日期生效年1月20日

发放质保中心

依据：目的：建立洁净区尘埃粒子数监测标准操作规程

范围：生产车间洁净区、生测室

1.洁净标准：测试仪器及测试条件。

洁净级别及标准

洁净级别尘粒数/立方米

≥0.5um＞5um

100级35000

10000级3500002000

100000级350000020000

300000级105000060000

2.测试仪器

Y09-9型激光离子数计数器

3测试条件

3.1静态测试：系指洁净厂房的空气净化系统已处于正常运行状态，生产设备已安装，

室内没有生产人员的测试。

3.2动态测试：洁净厂房的空气净化系统已处于正常状态，生产设备及生产人员已处

于正常生产状态的测试。

3．3测试工作应在动态条件下进行。

3．4采样管为仪器所使用的。

以家为家，以乡为乡，以国为国，以天下为天下。——《管子》

3．5仪器须经预热进入稳定状态后，方可测试记录，每个测试点连续3—5次(即

连续读数)每次检测周期为2min，采样量5．66L／min。

3．6测试时，对环境测试参数应有记录。

4、测试点的确定及采样次数

4．1万级、十万级洁净区域的测试，根据洁净区域的面积的大小及形状选择测试点

应遵循。

4．1．1平而面积小于5平方米且呈狭长形状的区域，可设3个检测点。

如图：

☉

--☉--☉☉

123☉☉

23

4．1．2平均面积大于5平方米，小于30平方米的区域，可用对角线五点法。

☉☉

☉

☉☉

4．1．3平面面积大于30平方米的区域可适当增加检测点。

5．测试数据的处理及判断

5.1如各测试点的测试植均不超过（超过）该洁净级别规定的限度时，即可判为符合

（不符合）洁净级别要求。

5．1．1测试结果取各测试点读数平均值时，按公式