[应用]PECVD射频电源阻抗匹配.pdfVIP

志不强者智不达，言不信者行不果。——墨翟

阻抗匹配的作用

终端电阻是为了消除在通信电缆中的信号反射在通信过程中，有

两种信号因导致信号反射：阻抗不连续和阻抗不匹配。

阻抗不连续，信号在传输线末端突然遇到电缆阻抗很小甚至没有，

信号在这个地方就会引起反射。这种信号反射的原理，与光从一种媒质

进入另一种媒质要引起反射是相似的。消除这种反射的方法，就必须在

电缆的末端跨接一个与电缆的特性阻抗同样大小的终端电阻，使电缆的

阻抗连续。由于信号在电缆上的传输是双向的，因此，在通讯电缆的另

一端可跨接一个同样大小的终端电阻。

引起信号反射的另个原因是数据收发器与传输电缆之间的阻抗不

匹配。这种原因引起的反射，主要表现在通讯线路处在空闲方式时，整

个网络数据混乱。

要减弱反射信号对通讯线路的影响，通常采用噪声抑制和加偏置电阻的

方法。在实际应用中，对于比较小的反射信号，为简单方便，经常采用

加偏置电阻的方法。

阻抗匹配（Impedancematching）是微波电子学里的一部分，主要

用于传输线上，来达至所有高频的微波信号皆能传至负载点的目的，不

会有信号反射回来源点，从而提升能源效益。

大体上，阻抗匹配有两种，一种是透过改变阻抗力（lumped-circuit

matching），另一种则是调整传输线的波长（transmissionline

matching）。

要匹配一组线路，首先把负载点的阻抗值，除以传输线的特性阻抗

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值来归一化，然后把数值划在史密夫图表上。

改变阻抗力

把电容或电感与负载串联起来，即可增加或减少负载的阻抗值，在

图表上的点会沿著代表实数电阻的圆圈走动。如果把电容或电感接地，

首先图表上的点会以图中心旋转180度，然后才沿电阻圈走动，再沿中

心旋转180度。重覆以上方法直至电阻值变成1，即可直接把阻抗力变

为零完成匹配。

调整传输线

由负载点至来源点加长传输线，在图表上的圆点会沿著图中心以逆

时针方向走动，直至走到电阻值为1的圆圈上，即可加电容或电感把阻

抗力调整为零，完成匹配

阻抗匹配则传输功率大，对于一个电源来讲，单它的内阻等于负载

时，输出功率最大，此时阻抗匹配。最大功率传输定理，如果是高频的

话，就是无反射波。对于普通的宽频放大器，输出阻抗50Ω，功率传输

电路中需要考虑阻抗匹配，可是如果信号波长远远大于电缆长度，即缆

长可以忽略的话，就无须考虑阻抗匹配了。阻抗匹配是指在能量传输时,

要求负载阻抗要和传输线的特征阻抗相等,此时的传输不会产生反射,

这表明所有能量都被负载吸收了.反之则在传输中有能量损失。高速PCB

布线时，为了防止信号的反射，要求是线路的阻抗为50欧姆。这是个

大约的数字,一般规定同轴电缆基带50欧姆,频带75欧姆,对绞线则为

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100欧姆,只是取个整而已,为了匹配方便.

阻抗从字面上看就与电阻不一样，其中只有一个阻字是相同的，而

另一个抗字呢？简单地说，阻抗就是电阻加电抗，所以才叫阻抗；周延

一点地说，阻抗就是电阻、电容抗及电感抗在向量上的和。在直流电的

世界中，物体对电流阻碍的作用叫做电阻，世界上所有的物质都有电阻，

只是电阻值的大小差异而已。电阻小的物质称作良导体，电阻很大的物

质称作非导体，而最近在高科技领域中称的超导体，则是一种电阻值几