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摘要
摘要
在高效太阳电池中，异质结太阳电池（HJT）具有高转化效率和制备工艺
简单等优点，是光伏技术和产业发展的重要方向。在HJT电池中，以微晶硅薄
膜替代氢化非晶硅（a-Si:H）薄膜，可以减少光吸收损失、提高导电性，进一
步提升HJT电池效率。热丝化学气相沉积（HWCVD）沉积速率快、无等离子
体损伤、设备成本低，已成功用于HJT电池的a-Si:H薄膜生长。但迄今国内外
相对还缺乏HWCV
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