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对焊缝的要求:1真空侧深度熔焊

2双面焊接时，外部结构最好断续焊或设置钻孔（便于检漏）

3内部结构焊必须断续（以便气体容易被抽走）

4焊缝应一次焊好，否则应将缝磨掉直至露出母材

5焊缝漏率必须低于10-6Pal/s

6焊接的组件应设计得使最大数量的焊缝在制造阶段测试漏率。

可拆密封：密封机理：依靠弹性垫圈在外力作用下变形来堵塞被

连接件表面的微小凹坑形成的通道。弹性体有金属和非金属两类。

外力可以通过螺栓、螺母、卡环等方式施加。

密封面粗糙度有要求，通常达到粗糙度1.6。

螺栓连接：密封圈：非金属密封圈：依靠弹性圈的弹性变形来实现密封。

由于放气量大，而且烘烤温度不能高于150℃，所以通常只用于低、高真空系统中。

密封槽的形状：矩形倒三角形燕尾槽

螺栓连接：金属密封圈：金属密封圈：依靠垫圈的塑性变形实现密封

因为放气量小，烘烤温度可高于200℃，所以金属密封圈常用于超高真空

系统。由于是利用塑性变形的特性，所以金属圈基本是一次性使用。

材料：无氧铜、金、银或保险丝

形状：O型截面垫圈（金属丝），矩形截面垫圈（无氧铜

真空动密封:往复、旋转、摆动

将运动传递到真空室所需要的密封连接称为动密封。如要使真空室中的某个物件通过

真空室外部的电机带动而旋转，那么必将有一根旋转的轴穿过真空室壁.

接触式:接触注油式自润滑材料密封(自润滑材料：石墨聚四氟乙烯)

液态金属密封:液体薄膜表面张力或利用液柱高度与压差之间平衡。

J形橡胶圈的密封结构JO形橡胶圈密封结构O形橡胶圈密封结构。

磁流体密封：磁性流体:把磁铁矿等强磁性的微细粉末，在水、油类、酯类、醚类等

液体中进行稳定分散的一种胶态液体，又称磁性液体、铁磁流体或磁液。它既具有液体

的流动性又具有固体磁性材料的磁性。

磁流体由3种主要成分组成：固体铁磁体微粒载液（溶媒）。

包覆着微粒并阻止其相互凝聚的表面活性剂（稳定剂）

磁流体可以封气、封水、封油、封尘、封烟雾等，磁流体密封是通过设置单个或多个永久

磁铁和铁磁性极靴，在旋转轴和极靴的夹缝中加入磁流体，由于磁场吸引力的作用，

磁流体绕轴形成“O”型环，把空隙完全堵住，阻止被密封介质从空隙通过。

铁磁流体耐压值的影响因素：

磁流体轴向厚度、磁流体饱和磁化强度、外加磁场强度、密封级数、径向间隙、极靴形状和轴的转速

磁流体密封的破坏过程：当两侧无压差时，极靴处密封液环保持正常形状；

当存在两侧压差时，密封流体呈弓形断面，但仍能保持正常形状；

当两侧压力增大至磁流体密封的承载能力时，密封液环先开始变形，然后迅速穿孔；继续增加压差，

密封液环遭破坏。

磁流体密封的优缺点：优点：维护量小，寿命长，泄漏量可忽略；

可以在轴高速运转下使用；对轴的表面质量要求不高；摩擦损失小，无磨损颗粒；

磁流体不用抽送，只要求有时补给；密封结构紧凑。

缺点：磁流体密封要求工艺流体与磁流体互相不融合；

有工艺流体蒸发和磁流体退磁的限制；耐压不太高；

轴周转速一般不超高60～80m/s，防止温升导致性能下降。

非接触式：转轴与真空室之间留有间隙：减压密封

分子运动密封磁连接隔板密封

1利用动态真空系统的特性，将泵的抽速Se加大ΔS，使得ΔS*P1

与漏进去的流量平衡，这样真空室内压强不会因为漏气而变化。

2利用磁力将真空室外部运动传递到真空室内部。

挠性管连接非金属橡胶管金属波纹管

电输入及注意事项：1保证电极与真空室之间可靠密封；

2保证电极与真空室之间绝缘，特别是高电压输入时，要用陶瓷绝缘；

3接线柱足够粗,能承受相应电流产生的热量，而不至于过热；可采用

低压大电流水冷电极结构；

4当输入高频时，考虑材料电阻率的变化及对波的吸收导致的发热。

阀门功能：开关气路、改变气路方向调节真空度定量充气

种类：按结构分蝶阀，插板阀、翻板阀、角阀、针阀等

阀门设计一般性要求：密封性好；（阀盖与阀座，阀盖与大气之间，

阀座与大气之间均要有密封连接）。阀门开启要有大的流导；

材料饱和蒸汽压低；结构简单，操作方便；

开关要有标识，传动装置在高压侧

阀门的构成：阀盖阀座密封圈压紧机构传动机构

密封圈可以由阀盖或阀座直接代替：在没有密封圈时，

阀盖与阀座，要一软一硬，软金属变形，形成密封。

阀板压紧装置的设计要求：在压紧密封垫时，阀板不产生横向运动；

压紧位置要重合；压紧后能自锁；均压、续压和调压

阀板压紧方式