电子级四氯化钛 编制说明.pdf

《电子级四氯化钛》

编制说明（征求意见稿）

一、工作简况

1.1标准立项目的与意义

电子级四氯化钛是集成电路存储器制造领域的重要原材料之一，也是电子级二氧

化钛、钛酸钡、特种高纯合成石英的原材料，还可用于生产高纯钛、海绵钛等，目前

国内已有少量产业化，并开始供应给国内存储器制造厂商，逐步在替代进口；在特种

高纯合成石英方面已有批量应用。

电子级四氯化钛在国际和国内都还没有明确的标准可以参考，现行的行业标准

YS/T655-2016SiClFeCl

《四氯化钛》为工业级标准，其中只检测四氯化钛中的4、3、

VOCl、AlCl、SnCl五种杂质的纯度，减去上述五种杂质后为四氯化钛的纯度，而四

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氯化钛中不仅仅只有上述五种杂质，故而其测试所得纯度并不准确；另外，上述五种

杂质含量在几个至几十ppm级别，完全无法满足集成电路等行业对金属离子ppb级甚

至更低的要求。

《国家标准化发展纲要》中指出要推动标准化与科技创新互动发展，加强关键技

术领域标准研究，在两化融合、新一代信息技术、大数据、区块链、卫生健康、新能

源、新材料等应用前景广阔的技术领域，同步部署技术研发、标准研制与产业推广，

20222022

加快新技术产业化步伐。年国家标准委《年国家标准立项指南》也指出要丰

富标准的供给渠道，并在重点支持的领域中强调要研制关键基础标准。研制电子级四

氯化钛标准正是对国家标准化发展战略的积极响应，对国家政策文件的践行落实。

1.2任务来源

202312N--2-

年月国家标准化管理委员下达了《电子级甲基吡咯烷酮》（标准计

划号T-469）国家标准计划，由全国半导体设备和材料标准化技术委员会

(SAC/TC203)归口管理，由武汉新硅科技潜江有限公司牵头起草，项目周期18个月，

标准类别：产品，国际标准分类号：31.030。

1.3主要工作过程

1.3.1预研阶段

1

2023年在全国半导体设备和材料标准化技术委员会的组织下，成立了以武汉新硅

科技潜江有限公司牵头的标准编制小组，小组成员优负责电子级四氯化钛生产及质量

检测的相关技术人员组成，有着丰富的生产及分析检测经验，对国内外本产品的发展

有比较清晰的认识，标准编制小组充分开展了调研工作，调研了电子级四氯化钛的测

试方法、市场应用、钢瓶包装等相关情况。

1.3.2起草阶段

项目计划下达后，标准编制小组根据电子级四氯化钛的生产与使用经验，并与行

业内相关单位的技术人员进行了充分的沟通和交流，通过查阅大量的文献，比较了国

内外电子级四氯化钛的品质情况，调研和调查了相关客户的质量要求，几十召开现场

工作会议讨论标准内容，按照国家标准编制原则、框架要求和国家的法律法规，编制

组及时修改标准文本，形成了《电子级四氯化钛》标准讨论稿和编制说明。

2024612

年月日由全国半导体设备和材料标准化技术委员会组织，在苏州召开了

《电子级四氯化钛》国家标准启动会，与会专家对《电子级四氯化钛》标准文本进行

了详细地讨论并提出了修改意见，会后，编制小组根据专家组意见对标准文本进行了

修改和完善，形成了国家标准《电子级四氯化钛》征求意见稿及编制说明。

2024年12月12日至13日，全国半导体设备和材料标准化技术委员会2024年度

工作会议期间，专家组对《电子级四氯化钛》征求意见稿进行了详细的讨论和评审，

15.1

并提出了多条修改意见，如①对“表技术指标”增加备注说明、②“含量检测”

中增加气相色谱条件、③将“5.2元素离子含量检测”内容从原文件作为附录调整为到

文件正文中、④增加“检