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中微公司
刻蚀设备领军企业,内生外延打造平台型公司
核心提要
u刻蚀设备领军企业,多领域布局打开成长空间。中微公司主营刻蚀、薄膜沉积等半导体设备,下游涵盖集成电路、先进封装、
LED外延片等领域,其半导体设备已被广泛应用于国际一线客户从65nm到5nm及更先进的芯片加工工艺。
uCCP刻蚀国产龙头,ICP刻蚀稳步突破。公司已对28nm以上的绝大部分CCP刻蚀应用和28nm及以下的大部分CCP刻蚀
应用形成较为全面的覆盖,ICP刻蚀设备也已在逻辑、DRAM、3DNAND、功
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