半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA）阀门技术规范_编制说明.pdf

《半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚

物（PFA）阀门技术规范》

（征求意见稿）

编制说明

目录

一、工作简况1

（一）任务来源1

（二）立项目的和意义1

（三）起草单位1

（四）主要工作过程1

1.标准预研阶段1

2.标准立项阶段2

3.调研和初稿阶段2

二、标准化对象简要情况及制修订标准的原则2

（一）标准化对象简要情况2

（二）制定原则2

三、主要技术内容3

（一）标准名称和适用范围3

（二）技术要求3

1.外观3

2.壁厚及公差3

3.长度及偏差3

4.压力4

5.流通能力4

6.气密性及耐振性4

7.耐腐蚀性4

8.制造5

9.启闭性能5

四、采用国际标准和国外先进标准的程度及理由，以及与国际、国外同类标准水平对比情况，或

与测试的国外样品的有关数据对比情况5

五、与现行法律、法规、强制性国家标准及相关标准协调配套情况6

六、重大分歧意见的处理经过和依据6

七、贯彻标准的要求及建议6

八、废止或代替现行相关标准的建议6

九、其他应予说明的事项6

I

一、工作简况

（一）任务来源

根据2024年11月8日深圳市战略性新兴产业发展促进会发布的《关

于半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)阀门技术规范等两项

团体标准立项的通知》，由科讯工业制造（深圳）有限公司牵头申报的团

体标准《半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)阀门技术规范》

获批立项。

（二）立项目的和意义

PFA材料具有卓越的抗腐蚀性、耐热性、抗粘性，广泛应用于对生产

过程中金属离子析出和洁净度要求较高的半导体、行业。

芯片制造过程中单片/多片的酸洗、涂胶显影环节使用的塑料管材、

接头和阀门对产品的金属离子析出和洁净度要求较高，PFA材料因其优越

的耐腐蚀性和抗粘性，可满足芯片制造过程中对塑料阀门的超低金属离子

析出和超高的洁净度要求。

该标准制定后为半导体制造行业的发展起到至关重要的作用，为产品

质量保驾护航。

（三）起草单位

本标准由科讯工业制造（深圳）有限公司牵头编制。

（四）主要工作过程

1.标准预研阶段

2024年10月24日，科讯工业制造（深圳）有限公司（以下简称“科

讯”）召开标准立项讨论会。会议决定以科讯工业制造（深圳）有限公司

积累多年的阀门研发和生产制造经验为基础，检索对比国内外阀门相关标

准，组建标准编制组，开始进行预研工作。

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2.标准立项阶段

经过前期的讨论和资料检索，基本确定拟立项标准的编制目的、意义、

框架和主要内容等。

2024年11月