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T/EJCCCSEXXX—2024
Glasswafer混酸喷淋蚀刻机
1范围
本文件规定了glasswafer混酸喷淋蚀刻机（以下简称蚀刻机）的术语和定义、基本要求、技术
要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于通过化学反应对12英寸及以下玻璃晶园工件表面进行腐蚀加工的蚀刻机的制造和检
验。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
GB/T191包装储运图示标志
GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技术条件
GB8978污水综合排放标准
GB/T10069.3旋转电机噪声测定方法及限值第3部分:噪声限值
GB/T13306标牌
GB/T13384机电产品包装通用技术条件
GB50661钢结构焊接规范
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
喷淋蚀刻机Sprayetchingmachine
一种通过化学反应对晶片工件表面进行腐蚀加工的设备。
安全防护装置safeguard
为保护人们避免危险而提供的防护装置或保护器件。
[GB/T5226.1,定义3.1.55]
4材料要求
原材料应有产品合格证书并经进厂验收合格后方可入库使用。
釆用的PPH、PTFE、PVDF、NPP及A3钢型材、材料均应符合相应产品标准要求。
清洗剂及保养用化学品应与金属、塑料等材料相容。
电气元件应进行防酸保护。
5组成
蚀刻机主要组成部分见表1。
表1蚀刻机主要组成部分
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T/EJCCCSEXXX—2024
名称材料描述
混酸喷淋槽采用10mmPVDF板焊接而成
纯水喷淋槽采用15mmNPP板焊接而成
喷淋/排液系统喷淋水由上往下喷淋
混酸储液槽采用SUS316L钢板制作
储液箱容量:1000L
管路采用PPH、PTFE材质
控制系统可编程控制器/能手动/自动操作
能显示和设定时间,超时能报警
人机界面采用LCD触摸屏
数显控制器/
排风系统/将设备内挥发的清洗剂抽至户外
自动控制机械手/自动/手动两种控制方式
上下料台采用SUS316L钢板制作自动/手动两种控制方式
整机清洗部分底盘采用A3钢型材，清洗篮采用NPP板材焊接而成
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