《Glass wafer混酸喷淋蚀刻机》（征求意见稿）.docx

T/EJCCCSEXXX—2024

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Glasswafer混酸喷淋蚀刻机

1范围

本文件规定了glasswafer混酸喷淋蚀刻机（以下简称蚀刻机）的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于通过化学反应对12英寸及以下玻璃晶园工件表面进行腐蚀加工的蚀刻机的制造和检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技术条件GB8978污水综合排放标准

GB/T10069.3旋转电机噪声测定方法及限值第3部分:噪声限值GB/T13306标牌

GB/T13384机电产品包装通用技术条件GB50661钢结构焊接规范

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

喷淋蚀刻机Sprayetchingmachine

一种通过化学反应对晶片工件表面进行腐蚀加工的设备。

3.2

安全防护装置safeguard

为保护人们避免危险而提供的防护装置或保护器件。[GB/T5226.1,定义3.1.55]

4材料要求

4,1原材料应有产品合格证书并经进厂验收合格后方可入库使用。

4.2釆用的PPH、PTFE、PVDF、NPP及A3钢型材、材料均应符合相应产品标准要求。4.3清洗剂及保养用化学品应与金属、塑料等材料相容。

4,4电气元件应进行防酸保护。

5组成

蚀刻机主要组成部分见表1。

表1蚀刻机主要组成部分

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名称

材料

描述

喷淋/排液系统

混酸喷淋槽

采用10mmPVDF板焊接而成

喷淋水由上往下喷淋

纯水喷淋槽

采用15mmNPP板焊接而成

混酸储液槽

采用SUS316L钢板制作

储液箱

容量:1000L

管路

采用PPH、PTFE材质

控制系统

可编程控制器

/

能手动/自动操作

能显示和设定时间,超时能报警

人机界面

采用LCD触摸屏

数显控制器

/

排风系统

/

将设备内挥发的清洗剂抽至户外

自动控制机械手

/

自动/手动两种控制方式

上下料台

采用SUS316L钢板制作

自动/手动两种控制方式

整机清洗部分

底盘采用A3钢型材，清洗篮采用NPP板材焊接而成

全封闭结构

6主参数

蚀刻机主参数见表2。

表2主参数

参数

要求

整机外形尺寸，(L×W×H)mm

7400×3070×3200

主供电源,V

380，3相5线

总功率,KW

60

工作形式

连续进料、双面喷淋式

设备方向

左面进出下料

纯水喷淋时间,min

5-20，可调

混酸喷淋时间,min

20-100，可调

数显温控控制范围，℃

士2

尾气处理装置排气量，m3/小时

13000

7加工参数

蚀刻机加工参数见表3。

表3加工参数

指标

要求

加工工件最大尺寸，英寸(inch)

12及以下

装载能力,Kg/篮

200

篮具,m2

515×510

蚀刻台转速,r/min

≤10

蚀刻工作温升,℃

≤70

蚀刻均匀性,%

≤士5

蚀刻速度，mm/s

无级调速

清洗介质

HF+HCL+H2SO4+纯水

喷淋介质

纯水

工件加工质量

工件蚀刻表面应光滑平整

8安装必备条件

蚀刻机安装现场1.5米范围内应配有:

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a)电源:AC380V三相五线制；

b)气源:0.4～0.7MPα压缩空气，风切气源，1小时10立方氮气；

c)纯水:流量为2.0T/h；

d)与废水处理系统连接的废液排水口1#、腐蚀液排放口2#和废水排放口3#。

9正常工作条件

蚀刻机正常工作条件如下：

a)环境温度：-20℃~40℃;

b)环境相对湿度：≤90%；

c)电源电压允许波动范围为：±10%；

d)周围无粉尘、油烟、腐蚀气体及易燃、易爆、易挥发性溶剂。

10技术要求

10.1外观质量

10.1.1金属表面镀层应平滑、均勺、不起泡、无裂缝、针孔、剥层、擦伤和锈蚀。

10.1.2油漆覆盖层应平整清洁、厚薄均匀、无流挂、针孔、起泡、脱落、露底等现象，无显著的颜色不均匀。

10.1.3零部件表面不应有毛刺、锐边和粗糙不平现象。

10.1.4管线应整齐无损伤，各端子应连接牢固无松动。10.2整机质量

10.2.1整机运行应平稳、无异常声