- 1、本文档共14页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
志不强者智不达,言不信者行不果。——墨翟
全球多晶硅产业发展回顾
(1)多晶硅研发中试期
高纯硅材料的研制工作自19世纪就已开始,早在19世纪60年代,人们就开始
········2025年,瑞典化学家Berzelius首先使用钾还原四氟化硅制
备出单质硅,但直到1951年,美国杜邦公司才使用类似的方法建设了全球首家
多晶硅提纯工厂,供美国的电子公司生产高频二极管,该方法也被称为杜邦法。
由于当时锌的纯度不易提升,生产的硅纯度不高,产品用途未能扩大。日本尝试
改进该生产工艺,生产出电阻率达到1000Ω/cm的多晶硅,以将其应用于高压
器件上,但是始终未获得成功。由于氢气更易于提纯和回收重复利用,其生产成
本也相对较低。1953年,贝尔实验室用氢替代锌来还原四氯化硅,并在钽丝上
沉积多晶硅,制备出P型电阻率达到1000Ω/cm的多晶硅,该方法也被称为
贝尔法。西门子公司是欧洲首家从事电子管研发的公司,为解决硅基整流管的原
料问题,也投入多晶硅提纯研发工作,于1955年成功研发出用氢气还原三氯氢
硅,在硅芯发热体上沉积硅的工艺技术,并于1957年建厂进行工业规模化生产,
此即为西门子法。1958年,西门子公司将该方法授权给德国Wacker公司使用,
德国Wacker公司的多晶硅产量也从1959年的530kg提升至1969年的60
吨。1956年,英国国际标准电气公司的标准电信实验所成功研究出通过硅烷热
分解制备多晶硅的方法,被称为硅烷法。1959年,日本的石冢研究所也同样成
功研究出该技术。美国和日本的一些多晶硅企业开始采用杜邦法或贝尔法建立多
晶硅工厂,如日本大阪钛、东海电极公司等。20世纪50年代初,国外多达16
家(美国4家、日本6家、欧洲6家)企业研究多晶硅的生产方法,产生了如
杜邦法、贝尔法、碘化法、皮齐尼法和硅烷法等制备多晶硅的方法。当时,由于
去留无意,闲看庭前花开花落;宠辱不惊,漫随天外云卷云舒。——《幽窗小记》
半导体产业刚刚兴起,市场规模不大,多晶硅企业也处于各自为战的状态,独立
进行研究和开发他们各自的多晶硅工艺。早期的企业主要是顾虑到自有的工艺技
术一旦被竞争对手获取,会导致自己在产品质量和生产成本竞争方面处于不利地
位,因此很多技术都处于独立开发状态。
(2)多晶硅工业化起步期
20世纪60年代早期,受制于锗在半导体领域的应用,硅材料市场有所波动,由
于杜邦法和贝尔法提炼的多晶硅纯度不高,部分多晶硅企业开始放弃杜邦法或贝
尔法,开始引入技术逐步成熟的西门子法,如日本信越化学公司开始从当时的联
邦德国引进西门子公司的三氯氢硅还原技术。在此带动下,日本的大阪钛、室素
电子公司等都开始改用三氯氢硅氢还原法,西门子法逐步奠定了其在硅工业的地
位。同时,日本窒素公司也开始将西门子技术输入到我国,在洛阳建立了年产能
3吨的多晶硅生产线。到20世纪60年代后期,由于锗材料做出的器件耐热性
差,工作不稳定,且锗是稀有材料,大批量生产困难,市场开始转向硅材料,原
有的生产商不能满足半导体行业对多晶硅需求数量更大、纯度更高以及成本更低
的要求,摩托罗拉、德州仪器、孟山都公司等一些半导体设备和电路制造商开始
自主生产多晶硅供企业使用。由于硅材料的应用范围从最初的整流器、二极管扩
大到可控硅、晶体硅、集成电路等,市场需求量扩大,多晶硅产量也由20世纪
50年代的百公斤量级提升至20世纪60年代的百吨量级。
(3)低成本多
您可能关注的文档
- 2025年交通灯控制实验程序.pdf
- 2025年中国电气工程大典第1卷,现代电气工程基础.pdf
- 2025年《高中化学实验基础》.pdf
- 2025年《秦统一多民族封建国家的建立》教学设计.pdf
- 新视野大学英语(第四版)读写教程2(思政智慧版)B2U4Section B.pptx
- E英语视听说教程3(智慧版) Unit5教学课件B3U5.pptx
- E英语视听说教程3(智慧版) Unit4教学课件B3U4(2024版).pptx
- 新视野大学英语(第四版)读写教程2(思政智慧版)B2U1 Section C.pptx
- 新视野二版听说1第6单元示范课件.ppt
- 新视野大学英语(第二版)读写教程 1广西大学编B1U9SectionA.ppt
- 新视野二版听说1第6单元示范1课件.ppt
- 【参考答案】 联络口译(第二版) 《联络口译》(第二版)参考答案.pdf
- 梅大高速茶阳路段“5·1”塌方灾害调查评估报告.docx
- 虹吸雨水PE管施工节点标准做法.pdf
- 2025消防设施施工质量常见通病防治手册,典型图示+规范要求.pptx
- 新视野大学英语(第二版)读写教程 4 空军工程大学编U05B.ppt
- E英语教程2(智慧版)Unit 6.pptx
- E英语教程3(智慧版)Unit 7.ppt
- 新视野二版读写1第4单元课件Section A How to Make a Good Impression.pptx
- E英语视听说教程4(智慧版)4-U2课件(2024版)U2.pptx
文档评论(0)