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2025年全球多晶硅产业发展历程及企业大全.pdfVIP

2025年全球多晶硅产业发展历程及企业大全.pdf

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志不强者智不达,言不信者行不果。——墨翟

全球多晶硅产业发展回顾

(1)多晶硅研发中试期

高纯硅材料的研制工作自19世纪就已开始,早在19世纪60年代,人们就开始

········2025年,瑞典化学家Berzelius首先使用钾还原四氟化硅制

备出单质硅,但直到1951年,美国杜邦公司才使用类似的方法建设了全球首家

多晶硅提纯工厂,供美国的电子公司生产高频二极管,该方法也被称为杜邦法。

由于当时锌的纯度不易提升,生产的硅纯度不高,产品用途未能扩大。日本尝试

改进该生产工艺,生产出电阻率达到1000Ω/cm的多晶硅,以将其应用于高压

器件上,但是始终未获得成功。由于氢气更易于提纯和回收重复利用,其生产成

本也相对较低。1953年,贝尔实验室用氢替代锌来还原四氯化硅,并在钽丝上

沉积多晶硅,制备出P型电阻率达到1000Ω/cm的多晶硅,该方法也被称为

贝尔法。西门子公司是欧洲首家从事电子管研发的公司,为解决硅基整流管的原

料问题,也投入多晶硅提纯研发工作,于1955年成功研发出用氢气还原三氯氢

硅,在硅芯发热体上沉积硅的工艺技术,并于1957年建厂进行工业规模化生产,

此即为西门子法。1958年,西门子公司将该方法授权给德国Wacker公司使用,

德国Wacker公司的多晶硅产量也从1959年的530kg提升至1969年的60

吨。1956年,英国国际标准电气公司的标准电信实验所成功研究出通过硅烷热

分解制备多晶硅的方法,被称为硅烷法。1959年,日本的石冢研究所也同样成

功研究出该技术。美国和日本的一些多晶硅企业开始采用杜邦法或贝尔法建立多

晶硅工厂,如日本大阪钛、东海电极公司等。20世纪50年代初,国外多达16

家(美国4家、日本6家、欧洲6家)企业研究多晶硅的生产方法,产生了如

杜邦法、贝尔法、碘化法、皮齐尼法和硅烷法等制备多晶硅的方法。当时,由于

去留无意,闲看庭前花开花落;宠辱不惊,漫随天外云卷云舒。——《幽窗小记》

半导体产业刚刚兴起,市场规模不大,多晶硅企业也处于各自为战的状态,独立

进行研究和开发他们各自的多晶硅工艺。早期的企业主要是顾虑到自有的工艺技

术一旦被竞争对手获取,会导致自己在产品质量和生产成本竞争方面处于不利地

位,因此很多技术都处于独立开发状态。

(2)多晶硅工业化起步期

20世纪60年代早期,受制于锗在半导体领域的应用,硅材料市场有所波动,由

于杜邦法和贝尔法提炼的多晶硅纯度不高,部分多晶硅企业开始放弃杜邦法或贝

尔法,开始引入技术逐步成熟的西门子法,如日本信越化学公司开始从当时的联

邦德国引进西门子公司的三氯氢硅还原技术。在此带动下,日本的大阪钛、室素

电子公司等都开始改用三氯氢硅氢还原法,西门子法逐步奠定了其在硅工业的地

位。同时,日本窒素公司也开始将西门子技术输入到我国,在洛阳建立了年产能

3吨的多晶硅生产线。到20世纪60年代后期,由于锗材料做出的器件耐热性

差,工作不稳定,且锗是稀有材料,大批量生产困难,市场开始转向硅材料,原

有的生产商不能满足半导体行业对多晶硅需求数量更大、纯度更高以及成本更低

的要求,摩托罗拉、德州仪器、孟山都公司等一些半导体设备和电路制造商开始

自主生产多晶硅供企业使用。由于硅材料的应用范围从最初的整流器、二极管扩

大到可控硅、晶体硅、集成电路等,市场需求量扩大,多晶硅产量也由20世纪

50年代的百公斤量级提升至20世纪60年代的百吨量级。

(3)低成本多

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