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《基于主动负刚度原理的大型精密仪器系统隔微振技术》

一、引言

随着科技的进步，大型精密仪器系统的应用日益广泛，而微振动对精密仪器系统的影响也越来越显著。为了保障精密仪器系统的稳定性和可靠性，研究有效的隔微振技术至关重要。本文基于主动负刚度原理，提出一种新型的隔微振技术，以提升大型精密仪器系统的性能和稳定性。

二、微振动对精密仪器系统的影响

微振动是影响精密仪器系统性能的重要因素，包括机械系统、光学系统、电子系统等。微振动可能导致系统误差增大、数据不准确、系统不稳定等问题，严重影响了精密仪器系统的正常工作和长期使用。因此，有效的隔微振技术对于提高精密仪器系统的性能和稳定性具有重要意义。

三、主动