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《迭代学习控制方法及其在扫描光刻系统中的应用研究》

一、引言

在现今的精密制造技术中，迭代学习控制（IterativeLearningControl,ILC）已成为一项关键技术。特别是在扫描光刻系统中，其应用显得尤为重要。本文将详细探讨迭代学习控制方法的基本原理、特点及其在扫描光刻系统中的应用研究。

二、迭代学习控制方法概述

迭代学习控制是一种在重复性任务中不断修正误差以达到预期性能的智能控制方法。它利用历史数据进行自我调整和优化，逐渐减少输出误差，使系统逐步达到理想状态。该方法的主要优点是能够处理具有不确定性和非线性的复杂系统，且无需精确的系统模型。

三、迭代学习控制方法的基本原理

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