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《超薄柔性显示衬底Roll-to-Roll化学机械抛光机研制》

一、引言

随着科技的进步和消费者需求的升级，超薄柔性显示技术正逐渐成为电子显示领域的重要发展方向。超薄柔性显示衬底作为其关键材料，在生产工艺及设备技术上需进行不断创新以满足日益增长的市场需求。本论文旨在详细介绍一种全新的Roll-to-Roll化学机械抛光机的研制过程及其在超薄柔性显示衬底制备中的应用。

二、技术背景与现状

目前，超薄柔性显示衬底在制造过程中需要经过多道复杂的工艺，其中化学机械抛光工艺对于提升产品良率和降低表面粗糙度等关键指标至关重要。Roll-to-Roll生产技术是当前行业内的主流生产方式，具有生产效率高、连续