《扫描电镜SE》课件.pptVIP

*******************扫描电子显微镜的基本原理扫描电子显微镜(SEM)是一种利用电子束扫描样品表面而获得样品表面形貌信息的仪器。其工作原理是利用电子束与样品表面原子发生的各种相互作用过程,获得样品表面的形貌信息。课程概述课程目标通过学习扫描电镜的基本原理和使用方法,掌握样品制备、成像参数调整等关键技术,为后续开展科学研究和器件分析提供理论和实践基础。课程内容包括扫描电镜的工作原理、成像过程、样品制备、图像分析等方面,涵盖扫描电镜的基础知识和实际操作技能。学习收获学习本课程后,学生可以熟练使用扫描电镜开展样品表征,并能够独立分析和解释扫描电镜获得的结果。扫描电镜概念扫描电子显微镜(SEM)是一种利用聚焦电子束对样品表面进行扫描从而获得三维形貌信息的电子显微技术。它借助电子束在样品表面产生的各种信号进行图像形成,可以获得清晰的高放大倍率样品表面拓扑结构信息。SEM能够提供样品表面形貌、化学成分分析、结构分析等信息,在材料科学、生物医学等诸多领域均有广泛应用。基本构造设备外观扫描电子显微镜采用柱状设计,由电子枪、电子透镜、扫描线圈、真空系统等部件组成。整体外观庄重大气,体现先进的科技水平。内部结构扫描电子显微镜内部由多个电子光学系统组成,通过精密的电子束操控,可以对样品表面进行高倍放大成像。工作环境扫描电子显微镜需要在高真空环境下运行,以避免电子束被空气分子干扰,确保高质量成像。工作原理1电子枪发射扫描电镜中的电子枪会产生高能自由电子,并聚焦成细小的电子束。2电子束扫描电子束会在样品表面有规律地扫描,扫描的每个点都会发生电子与样品的相互作用。3信号采集样品表面的各种信号被探测器探测并放大,最终转换成图像显示在屏幕上。成像过程1电子束照射电子束聚焦于样品表面2二次电子反射样品表面电子被激发并反射3探测器采集二次电子被探测器捕获4信号放大电子信号经放大处理扫描电子显微镜通过聚焦电子束照射样品表面,激发样品表面电子并产生二次电子。这些二次电子被探测器采集并放大处理,最终形成清晰的样品表面图像。这个过程涉及电子束聚焦、二次电子反射以及探测器采集等多个步骤。样品种类1无机材料如金属、陶瓷、矿物等硬质样品，可用于表面形貌及成分分析。2有机材料如高分子聚合物、生物样品等软质材料，需要特殊的制备技术。3薄膜材料如半导体薄膜、涂层等，可分析表面及界面细节。4复合材料如碳纤维增强复合材料，可观察纤维与基体之间的相互作用。样品制备1清洁对样品表面进行超声波清洗2切割将样品切割成合适大小3镀膜在样品表面镀上导电薄膜4包埋将样品包埋在树脂中保护5抛光对样品表面进行精细抛光样品制备是扫描电镜观察的关键步骤。通过清洁、切割、镀膜、包埋和抛光等步骤,可以使样品表面平整、导电,并保护样品不受损坏。这些预处理过程确保了扫描电镜能够获得清晰的表面形貌信息。样品放置样品固定将样品小心地固定在专用的样品台或夹具上,以确保在扫描过程中保持稳定。真空腔入位将装有样品的样品台小心地放置到扫描电镜的真空腔内,并确保密封良好。室温维持在样品放置过程中,需要确保样品温度保持恒定,避免热胀冷缩造成的变形。电子束聚焦1透镜系统利用电磁场对电子束进行聚焦2孔径大小控制孔径以确定聚焦范围3电压调节调整电压以优化聚焦效果电子束聚焦是扫描电镜中的关键步骤。首先通过电磁透镜系统对电子束进行聚焦,然后根据样品表面形貌和预期分辨率调节孔径大小和电压参数,以确保电子束能准确聚焦在样品表面。精准的电子束聚焦直接决定了扫描电镜的成像质量。电子源电子枪利用热电子发射或冷场发射原理产生电子束的装置。电子光学通过电磁场对电子束进行准直、聚焦和偏转。真空环境电子源必须置于高真空环境中,以减少电子与气体分子的散射。电子束扫描光束扫描采用电磁线圈或静电偏转系统对电子束进行二维扫描,使电子束能逐行扫描样品表面。焦点扫描电子束聚焦到样品表面的一个微小区域,通过对电子束位置和焦点进行控制,实现对样品表面的逐点扫描。快速扫描扫描线的扫描速度可以达到每秒数千条,从而获得高时间分辨率的动态信息。二次电子探测二次电子的产生当电子束击中样品表面时，会产生大量的二次电子。这些二次电子是由被电子束激发的样品表面电子散射而产生的。二次电子检测器扫描电镜使用专门的二次电子检测器来收集和放大这些微弱的二次电子信号,进而形成样品表面的高分辨率图像。成像原理二次电子的数量取决于样品表面的倾斜角度和粗糙程度,从而形成样品表面形貌的反映。检测效率高效的二次电子检测器能够大幅提高样