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4-1ESD控制原理---接地静电导体接地人员的接地（腕带:（0.8~1.2)109Ω、防静电/导电胶底鞋对地电阻:0.5×105~1.0×109Ω）设备和工具接地:＜4.0Ω(GB50174-93)环境：地面、货架、活动设备对地电阻：×105~1×109Ω雷电保护接地：＜4.0Ω（最好在1Ω以下）离子消电器01放射消电器02静电非导体4-2ESD控制原理01人体ESD控制原理02人体是最普遍存在的静电危害源对于静电来说，人体是导体。对人体采取接地的措施可以控制人体静电。使用静电地面（防静电地垫、地毯等）1防静电鞋2防静电袜3防静电胶垫4地面对地电阻注意：鞋、地面、袜、鞋垫等必须全是防静电的，才能保证静电从脚导向大地。105Ω＜鞋、地面对地电阻＜109Ω54-4使静电从脚导到大地器件01人体静电电压02几百到几千伏03几千到几万伏04*生产产所中的静电危害源物体或工艺加工材料或活动人站起、行走、操作工作服椅子组装、清洗、测试和维修区摩擦的实质是一种接触分离过程。02任何两个不同材质的物体接触后再分离即可产生静电。01大部分器件的静电破坏电压都在几百伏至几千伏，而在干燥的环境中人活动所产生的静电电压可达几千伏到几万伏。04当带电物体接近不带电物体时会感应静电。03静电危害的特点：隐蔽性、潜在性、随机性、复杂性。静电是如何产生的小结电子工业中静电问题的产生1静电对电子产品损害的四种形式2静电对电子产品损害的四种特点3哪些过程会产生静电危害4二、电子工业中静电问题40-50年代晶体三极管和二极管0160-70年代MOS器件的出现0280-90年代二氧化硅膜的厚度越来越薄（微米-纳米），其承受的静电电压愈来愈低，另一方面，生产和积累静电的材料如塑料、橡胶等大量使用，使得静电积累到很高的程度。03电子工业中静电问题的产生DRAM（存储量）256K1M4M16M64M256M1G4GSRAM（存储量）64K256K1M4M16M64M256M1G线宽（μm）1.81.20.80.5~0.60.35~0.40.25~0.270.18~0.200.1~0.15芯片面积（cm2）0.40.50.91.323710加工次数（次）140160200270340400460530静电已成为电子工业的隐形杀手！静电是电子工业普遍存在的一种“病毒”！！01静电对电子产品损害的四种形式02吸尘（缩短寿命）放电破坏（完全破坏）放电产生热（潜在损坏）放电产生电磁场（电磁干扰）静电对电子产品损害的四个特点01隐蔽性：人体感知的静电放电电压2-3KV02潜在性：损伤后性能没有明显的下降03随机性：从一个元件产生以后，一直到它损坏以前的所有过程04复杂性：分析困难，掩盖了失效的真正原因05从元件的制造、使用到维修的任一环节，静电已成为电子工业的隐形的致命杀手。元件制造过程：切割、连线、检验印刷电路版生产过程：储存、装配设备使用过程：安装、试验设备维修过程：拆卸、检验电子工业哪些过程会产生静电危害静电放电损坏模型人体模型带电器件模型场增强模型机器模型电容偶合模型GJB1649电容为100PF，电阻为1.5KΩ人体模型的建立CBA人体模型HBM人体模型放电电流波形Tri:＜10nsTdi:150±20nsIp:±10﹪Ir:15﹪Ip:＜100ns级别Vs/VIp/A15000.33210000.67320001.33440002.67EsIp是电流波形检测过程中流过R的峰值电流表,大约为Vs/1500Ω.器件本身积累静电而迅速放电造成元件,如一个集成电路损坏.管脚上电荷的典型值为3nC(库仑),塑料包装上的电荷小于0.2nC0102带电器件模型(CDM)CDM波形图01小于10ns过程太快，以致输入保护电路来不及02导通。典型的情况是导致芯片内或氧化区的损坏。03CurrentA04几个纳库的电荷能05导致器件损坏06上升时间约0.5ns，07持续时间小于10ns。机器模型由2000PF电容窜500Ω电阻和一个500nH电感代替通常串联的电阻构成。机器模型是如带电绝缘的面板、小车