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什么是洁净室？;半导体工厂洁净室示意图;洁净室的空调系统及其气流组织形式;洁净室的构造是怎样的？;洁净室的洁净度是如何确定的？;在太平洋中游弋的一条鲣鱼;尘埃粒子直径的示意图;洁净室的洁净度是如何维持的？;HEPAFilter高效过滤器——
HighEfficiencyParticulateAirFilter;过滤器去除灰尘的效率如何呢？（举例）;灰尘又是如何产生的呢？;洁净室的四原则;除了灰尘还要防止什么呢？;这些化学物质有什么危害呢？;化学过滤器和FFU的HEPA/ULPA的安装关系举例
化学过滤器和FFU的HEPA/ULPA的安装关系举例
来自建筑物外墙、屋顶等
通道内200－400次/h，
5微米的粒子少于10个
Class100：大于0.
Cleanroom洁净室
生产设备的发热即为空调的热负荷，运行成本最高
GigaSorb酸＋碱＋有机
风量：2600m3/h
UltraLowPenetrationAirFilter
在太平洋中游弋的一条鲣鱼
24×10-21仅3.;;;活性炭是如何吸附化学物质的呢？;化学过滤器和FFU的HEPA/ULPA的安装关系举例;有了HEPA、ULPA，还要进行新风的空气净化（湿度控制）;洁净室的温度是如何控制的？;洁净室的热负荷从哪里来？;洁净室为什么还要控制压差？;HHNEC洁净室的断面示意图;自动洗手装置;洁净室配套设施——高灵敏度烟感探测器;;易受作业人员的活动而导致洁净度下降
室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
凝缩性有机物Condensables
在某一次研讨会上，讲师说到净化厂房的净化度时，举了“在太平洋中游弋的一条鱼”的例子来比喻“浮游在空气中的灰尘”，其寓意是要让大家亲身感觉到半导体洁净室方面的那种极其洁净的程度。
HEPAFilter高效过滤器——
洁净室的洁净度是如何确定的？
2、设备发尘部位应有排气
凝缩性有机物Condensables
GigaSorb碱＋有机
有机物——VOC→DBP等
适合洁净度要求不高的洁净室
半导体工厂洁净室示意图
CoolingUnit干冷盘管
被吸附的化学分子通过扩散进入活性炭庞大的小孔组织，抵达微孔。
大气、生产中使用的化学品
4、带入的工具、材料等必须擦洗干净;冷冻水系统;冷冻水系统构成图;洁净室的构造是怎样的？;洁净室的洁净度是如何维持的？;这些化学物质有什么危害呢？;活性炭是如何吸附化学物质???呢？;化学过滤器和FFU的HEPA/ULPA的安装关系举例;洁净室配套设施——高灵敏度烟感探测器
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