《平晶检测平面度》课件.pptVIP

**************课程大纲平晶定义与特点介绍平晶的基本概念，包括其定义、作用和分类等。重点讲解平晶的形状、规格、加工工艺和应用范围。平面度测量方法深入讲解平面度测量的原理和方法，包括接触式测量和非接触式测量。介绍常见的测量装置和步骤。平面度偏差分析分析平面度偏差的原因，包括加工误差、材料缺陷、环境影响等。探讨平面度偏差的控制措施和改善方法。典型应用领域介绍平晶在不同领域的应用，如精密仪器、光学器件、机械加工等。分析平晶在不同应用中的特点和要求。平晶定义平晶是精密测量工具，用于检测平面度和直线度等几何参数。平晶通常由高精度材料制造，如光学玻璃或陶瓷，表面经过精细研磨和抛光处理。平晶的表面非常平整，可以作为基准面，用于测量其他工件的平面度。平晶形状与规格平晶形状平晶通常为矩形或正方形。长度和宽度根据应用需求而定，通常为几十到几百毫米。平晶规格平晶规格主要由尺寸、精度等级和材料组成。常用尺寸有100mm、200mm、300mm等。精度等级常用0级、1级、2级等。材料常用光学玻璃、陶瓷、花岗岩等。平晶加工工艺1粗加工使用粗砂轮进行初步加工，去除毛坯余量，并形成大致的平面形状。2精加工采用精细砂轮，逐渐减小砂轮粒度，提高表面光洁度。3抛光使用抛光膏和抛光布，进一步提高表面光洁度，达到预期的平面度要求。平晶加工工艺是一个精细的流程，需要严格控制加工参数，例如砂轮粒度、加工速度、冷却液温度等。平晶平面度概念平晶平面度定义平晶平面度是指平晶表面上任一点到其理想平面的最大距离，也称作平晶表面的最大偏差。平面度与平晶质量平晶的平面度决定了其作为精密测量基准的精度。平面度越小，平晶的精度越高，测量结果越准确。平晶平面度测量平晶的平面度可以通过接触式或非接触式测量方法进行测量，常用的方法包括触针式测量仪、干涉仪等。平面度测量方法平晶平面度测量方法主要分为两种，即接触式测量和非接触式测量。1接触式测量利用接触式测量仪器，如百分表、测微仪等，通过测量平晶表面上的多个点的高度差来确定其平面度。2非接触式测量利用非接触式测量仪器，如光学干涉仪、三坐标测量机等，通过测量平晶表面上的干涉条纹或点云数据来确定其平面度。接触式测量方法操作简单，成本较低，但精度较低，且容易造成平晶表面损伤。非接触式测量方法精度较高，但成本较高，操作复杂。接触式测量原理接触式测量接触式测量仪器与被测表面接触，测量其高度差异。测量原理机械式传感器，测量平晶表面与被测表面之间的间隙。测量特点准确度高操作简便接触式测量装置接触式平面度测量装置是一种利用触针或探头与工件表面接触，测量工件表面点坐标的装置。该装置通常由测量框架、触针或探头、传感器、数据处理系统等组成。测量框架用于支撑触针或探头，使其能够精确地移动到工件表面各个点。传感器用于测量触针或探头与工件表面接触时的位移或力值，并将信号传递给数据处理系统。数据处理系统用于分析传感器信号，并计算出工件表面的平面度误差。接触式测量步骤1准备工作首先将平晶放置在水平平台上，并清洁平晶表面，确保表面无灰尘或油污。2安装探头选择合适的接触式探头，将其固定在测量仪器上，并确保探头与平晶表面接触良好。3进行测量启动测量仪器，根据测量范围和精度要求进行测量，并记录测量数据。非接触式测量原理1光学干涉法基于光波干涉原理，利用光的相位变化来测量平面度偏差。2激光扫描法利用激光扫描仪，通过扫描平晶表面，获取高度数据。3数字图像处理法利用摄像头采集图像，通过图像处理算法分析平面度偏差。4其他技术例如，三维扫描技术、全息干涉技术等。非接触式测量装置非接触式测量装置利用光学、激光或其他非接触技术测量平面度。这些装置通常使用传感器捕捉光信号，并根据信号变化计算平面度。常见类型包括：激光干涉仪三坐标测量机数字图像处理系统非接触式测量步骤1.清洁平晶使用专用清洁剂和工具，彻底清洁平晶表面，确保无灰尘、油污或其他污染物。2.放置平晶将平晶置于测量装置的平台上，并确保平晶稳定，避免晃动。3.设置参数根据测量要求，选择合适的测量范围、精度和扫描模式。4.开始扫描启动测量装置，进行扫描，获得平晶表面轮廓数据。5.数据分析使用专用软件对扫描数据进行分析，计算平晶的平面度值。6.结果展示软件会将测量结果以图表或数值形式展示，方便用户查看分析。测量误差分析仪器误差测量仪器本身精度限制，例如测量仪器的校准误差、零点误差和刻度误差等。操作误差测量人员操作不当造成的误差，例如读数误差、测量方法误差、环境温度变化等。工件形位误差工件