半导体设备行业系列报告之九：自主可控向上游深化，半导体零部件有望复刻设备成长.pdfVIP

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目录

1．半导体零部件受益国产化浪潮，国内市场空间广阔7

1.1半导体零部件处于芯片产业链上游，自主可控需求日益急迫7

1.2半导体零部件跟随下游设备扩张市场，全球竞争格局相对分散..10

2．零部件种类详解：各环节均有高技术壁垒关键零部件13

2.1机械类：价值量超20%且种类繁多13

2.2电气类：技术难度高，对刻蚀、沉积设备至关重要16

2.3机电一体类：温控、EFEM等对设备进行辅助的模块及子系统..18

2.4气体/液体/真空系统类：重点关注管阀、GasBox产品20

3．重点个股：各类零部件均涌现核心标的21

3.1江丰电子：第二成长曲线零部件业务快速成长21

3.2珂玛科技：陶瓷零部件技术突破难度较高核心产品23

3.3先锋精科：金属零部件具备优势，最大客户中微公司25

3.4富创精密：半导体零部件业绩规模及产品布局国内领先27

3.5新莱应材：真空管阀有望加速国产替代28

3.6正帆科技：气体供应系统及GasBox快速增长29

3.7英杰电气：国内射频电源研发布局相对领先32

4．风险提示34

第3页共35页简单金融成就梦想

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图表目录

图1：半导体零部件位于半导体设备上游7

图2：前道设备中刻蚀、薄膜沉积价值量占比合计超40%10

图3：半导体设备各工艺环节具有广阔市场空间10

图4：近10年来刻蚀、化学薄膜沉积设备全球市场规模增长最快11

图5：国内主流半导体设备公司直接材料成本占营业成本比例平均约90%11

图6：2023年全球设备厂商采购的半导体零部件市场规模约340亿美元12

图7：2022年全球半导体零部件竞争格局相对分散12

图8：Showerhead在CVD设备中为最核心零部件之一14

图9：硅电极及硅环为半导体刻蚀设备核心零部件14

图10：典型半导体CVD设备的先进陶瓷使用情况15

图11：典型半导体刻蚀设备的先进陶瓷使用情况15

图12：射频电源原理示意16

图13：射频电源主要结构17

图14：射频电源是PECVD中关键零部件之一17

图15：CCP刻蚀射频电源应用示意17

图16：ICP刻蚀射频电源应用示意17

图17：EFEM用于晶圆进出半导体设备18

图18：EFEM由装载装置、对准装置、机械手等模块组成18

图19：机械手用于机械搬运，是EFEM核心部件18

图20：水冷式温控器原理示意19

图21：球阀可用于控制气体/液体压力及流量20

图22：传输阀连接真空泵及反应腔20

图23：角阀多用于隔离不同腔室20

图24：闸阀通过闸板启闭控制传输介质20

图25：GasBox在半导体设备外对工艺气体进行整体分配与输运21

图26：江丰电子营收结构以靶材业务为主，半导体零部件业务快速增长22

图27：江丰电子1H24半导体零部件业务营收占比24%22

第4页共35页简单金融成就梦想

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图28：江丰电子近年来毛利率维持约30%，归母净利润率约10%22

图29：江丰电子9M24归母净利润2.9亿，同比增49%22

图30：珂玛科技主业为陶瓷零部件24

图31：2023年珂玛科技陶瓷材料零部件中泛半导体营收占比66%24

图32：珂玛科技9M24归母净利润高增295%25

图33：珂玛科技2024年以来盈利能力大幅提升25

图34：先锋精科产品结构以机械类工艺部件为主25

图35：关键工艺部件中腔体、内衬占