可调谐半导体激光吸收光谱中的吸光度反演算法研究.docx

第30卷，第8期2010年8月Vol.30,No.8,pp2201-2204August,2010光谱学与

第30卷，第8期2010年8月

Vol.30,No.8,pp2201-2204August,2010

可调谐半导体激光吸收光谱中的吸光度反演算法研究

许振宇，刘文清*,阚瑞峰，张玉钧，刘建国，张帅，束小文，耿辉，何莹，汤媛媛

中国科学院安徽光学精密机械研究所环境光学与技术重点实验室，安徽合肥230031

摘要可调谐半导体激光吸收光谱具有高分辨、高灵敏度和快速测量等特点，已经在环境检测、工业过程检测等方面得到广泛应用。在直接吸收光谱技术中，吸光度曲线以及积分吸光度的确定对于气体浓度反演、线强校正等都有重要的作用。对激光直接吸收光谱中吸光度和吸光度积分反演算法进行了研究，采用分段多项式基线拟合方法来消除激光器光强波动的影响，得到吸光度，再用非线性拟合Levenberg-Marquardt算法进行线形拟合来获取积分吸光度。通过水气吸收谱线的检测对算法进行了验证。

关键词吸光度；基线拟合；非线性最小二乘法

中图分类号：0433.5文献标识码：ADOI:10.3964/j.issn.1000-0593(2010)08-2201-04

引言

可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)技术，利用二极管激光器的波长可调谐和窄带特性，通过电流控制波长扫描获得气体特征吸收光谱。这种方法具有高灵敏度、响应速度快等特点，已广泛应用于环境检测、工业过程检测控制等方面1]。

痕量气体检测常用波长调制或频率调制的TDLAS技术，具有较高的检测灵敏度；而直接吸收光谱技术具有能够消除光强波动、吸收展宽影响等特点，而且能够不需要标准气体而通过Hitran04数据库2的吸收线强等参数直接反演得到待测气体浓度。介绍了一种对直接吸收光谱处理得到吸光度曲线以及积分吸光度的方法。由于处理过程不需进行定标，可以用于如水汽等难以用标准气体进行标定的气体检测。

1实验原理

根据Beer-Lambert吸收定律[3],频率为v强度为Io的入射光经过气体吸收后的透射光强为

I(v)=Io(v)exp[-S(T)p(v-w,DPxL](1)其中S(cm-2·atm-1)为吸收线线强，仅为温度T的函数；中(cm)为归一化的吸收线线形函数，是频率和温度的函数；P(atm)为总压；x为吸收气体占总气体的摩尔数之比，即体积

比；L(cm)为吸收光程长。

常用吸光度(absorbance)来描述气体对光的吸收特性，定义为Ir

式中A即积分吸光度，等于SPLy。因此在总压强P和吸收光程L已知的情况下，得到积分吸光度就可以通过相应温度下的线强(可由Hitran04数据库得到)来计算目标吸收气体的浓度，或者反过来由已知浓度的标准气体来校准线强。本文对激光直接吸收光谱中吸光度和吸光度积分反演算法进行了研究，采用多项式拟合基线方法来消除激光器光强波动得到吸光度，再用非线性拟合Levenberg-Marquardt算法进行线形拟合来获取积分吸光度。

2吸光度反演方法

采用的吸光度反演方法为：通过基线拟合，获得I?(v),计算吸光度,由线形拟合得出积分吸光度A。

通常消除激光强度波动的方法有：(1)将激光束分束为参考光路和信号光路，参考光不经过气体吸收，根据两束的分束能量比来消除激光器的光强波动；(2)通过数据拟合处理，利用气体的非吸收部分的光谱来拟合出I?(v),消除激光器光强随频率的波动即得出I(v),通过求吸光度而消除了激光光强波动的影响。

收稿日期：2009-10-26,修订日期：2010-01-18

基金项目：中国科学院知识创新工程重要方向性项目(KGCX2-YW-121-1)及中国科学院国防预研基金项目(CXJJ-09-M38)资助作者简介：许振宇，1986年生，中国科学院安徽光学精密机械研究所研究生email:zyxu@aiofm.ac.cn

*通讯联系人email:wqliu@aiofm.ac.cn

万方数据

2202光谱学与光谱分析第30卷

可调谐半导体激光器在一定的工作波长范围内，出射光强与频率(通过注入电流调