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金属表面处理中的溅射沉积技术考核试卷

考生姓名：答题日期：得分：判卷人：

本次考核旨在测试考生对金属表面处理中溅射沉积技术的理解与应用能力，包括溅射原理、设备操作、工艺参数选择、常见问题解决等方面。

一、单项选择题（本题共30小题，每小题0.5分，共15分，在每小题给出的四个选项中，只有一项是符合题目要求的）

1.溅射沉积技术中，以下哪种材料常用作靶材？（）

A.硅

B.铝

C.镍

D.氧化铝

2.溅射沉积过程中，以下哪个因素对沉积速率影响最大？（）

A.靶材温度

B.气压

C.靶材与基板之间的距离

D.溅射气体种类

3.溅射沉积技术中，以下哪种溅射方式对基板表面的损伤最小？（）

A.高速溅射

B.中速溅射

C.低速溅射

D.超低速溅射

4.在溅射沉积过程中，以下哪个参数对薄膜的均匀性影响最小？（）

A.气流速度

B.靶材转速

C.溅射角度

D.基板移动速度

5.溅射沉积技术中，以下哪种气体通常用作溅射气体？（）

A.氮气

B.氩气

C.氧气

D.氢气

6.以下哪种溅射技术适用于大面积薄膜沉积？（）

A.直射溅射

B.反射溅射

C.脉冲溅射

D.旋转溅射

7.溅射沉积技术中，以下哪种材料不易产生针孔缺陷？（）

A.铝

B.镍

C.钛

D.铜合金

8.以下哪种溅射方式适用于薄膜厚度控制？（）

A.常温溅射

B.高温溅射

C.快速溅射

D.恒温溅射

9.溅射沉积技术中，以下哪种材料不易产生应力？（）

A.钙钛矿

B.硅酸盐

C.钛酸钡

D.氧化锌

10.在溅射沉积过程中，以下哪个参数对薄膜的折射率影响最小？（）

A.溅射功率

B.靶材材料

C.气压

D.溅射气体流量

11.以下哪种溅射方式适用于薄膜透明度控制？（）

A.侧向溅射

B.俯视溅射

C.斜向溅射

D.顶视溅射

12.溅射沉积技术中，以下哪种材料不易产生裂纹？（）

A.铝

B.镍

C.钛

D.钼

13.以下哪种溅射方式适用于薄膜厚度均匀性控制？（）

A.直射溅射

B.反射溅射

C.脉冲溅射

D.旋转溅射

14.在溅射沉积过程中，以下哪个参数对薄膜的硬度影响最大？（）

A.溅射功率

B.靶材材料

C.气压

D.溅射气体流量

15.以下哪种溅射方式适用于薄膜表面光滑度控制？（）

A.侧向溅射

B.俯视溅射

C.斜向溅射

D.顶视溅射

16.溅射沉积技术中，以下哪种材料不易产生氧化？（）

A.铝

B.镍

C.钛

D.钼

17.以下哪种溅射方式适用于薄膜附着力控制？（）

A.直射溅射

B.反射溅射

C.脉冲溅射

D.旋转溅射

18.在溅射沉积过程中，以下哪个参数对薄膜的导电性影响最大？（）

A.溅射功率

B.靶材材料

C.气压

D.溅射气体流量

19.以下哪种溅射方式适用于薄膜耐磨性控制？（）

A.侧向溅射

B.俯视溅射

C.斜向溅射

D.顶视溅射

20.溅射沉积技术中，以下哪种材料不易产生腐蚀？（）

A.铝

B.镍

C.钛

D.钼

21.以下哪种溅射方式适用于薄膜光学性能控制？（）

A.直射溅射

B.反射溅射

C.脉冲溅射

D.旋转溅射

22.在溅射沉积过程中，以下哪个参数对薄膜的耐热性影响最大？（）

A.溅射功率

B.靶材材料

C.气压

D.溅射气体流量

23.以下哪种溅射方式适用于薄膜化学稳定性控制？（）

A.侧向溅射

B.俯视溅射

C.斜向溅射

D.顶视溅射

24.溅射沉积技术中，以下哪种材料不易产生光致变色？（）

A.铝

B.镍

C.钛

D.钼

25.以下哪种溅射方式适用于薄膜抗辐射性能控制？（）

A.直射溅射

B.反射溅射

C.脉冲溅射

D.旋转溅射

26.在溅射沉积过程中，以下哪个参数对薄膜的机械强度影响最大？（）

A.溅射功率

B.靶材材料

C.气压

D.溅射气体流量

27.以下哪种溅射方式适用于薄膜抗冲击性控制？（）

A.侧向溅射

B.俯视溅射

C.斜向溅射

D.顶视溅射

28.溅射沉积技术中，以下哪种材料不易产生疲劳？（）

A.铝

B.镍

C.钛

D.钼

29.以下哪种溅射方式适用于薄膜抗腐蚀性能控制？（）

A.直射溅射

B.反射溅射

C.脉冲溅射

D.旋转溅射

30.在溅射沉积过程中，以下哪个参数对薄膜的耐候性影响最大？（）

A.溅射功率

B.靶材材料

C.气压

D.溅射气体流量

二、多选题（本题