《真空系统》课件.ppt

*******************真空系统真空系统是现代科技中不可或缺的一部分，广泛应用于各个领域，如半导体制造、航空航天、生物医药等。真空的定义气体密度真空是指气体分子数量少，密度远低于大气压力的环境。在真空环境中，气体分子之间的距离更远，碰撞频率更低。气体压力真空度通常用气体压力来衡量，压力越低，真空度越高。在标准大气压下，气压为101.325kPa。真空状态真空状态是一种相对的概念，没有绝对的真空。即使在最先进的真空系统中，也仍然存在极少量的残余气体。真空的分类高真空压力低于10-3Pa的真空称为高真空，通常用于半导体制造、真空镀膜等领域。超高真空压力低于10-7Pa的真空称为超高真空，适用于需要极低气体分压的科学研究和工业应用。极高真空压力低于10-9Pa的真空称为极高真空，主要应用于宇宙科学和物理学研究。低真空压力在10-1Pa到103Pa之间的真空称为低真空，主要用于真空包装、真空干燥等。真空的单位和测量方法真空度真空度是指真空容器内气体压强的大小。真空度越低，表示真空度越高。真空度通常用帕斯卡（Pa）或托(Torr)来表示。1Torr=133.322Pa。测量方法常用的真空测量方法有:热电偶真空计皮拉尼真空计电离真空计真空泵的基本原理1降低气体压力通过减少真空容器中的气体分子数量来降低气体压力。2气体抽取真空泵通过机械或物理方法将气体分子从真空容器中抽取出来。3排气抽取的气体被排出到大气中或被进一步处理。真空泵的基本原理是通过减少真空容器中的气体分子数量来降低气体压力。真空泵通过机械或物理方法将气体分子从真空容器中抽取出来，并将其排出到大气中或被进一步处理。机械真空泵机械真空泵是利用机械运动来抽取气体，降低容器内气体压力的真空设备。机械真空泵通常由电机驱动，通过旋转叶轮或活塞将气体排出，从而降低容器内的压力。机械真空泵的优点是结构简单，价格低廉，易于维护，但其抽气速率和极限真空度有限。分子泵分子泵是一种利用高速旋转的叶轮，通过分子与叶片碰撞，将气体分子从低压侧抽到高压侧，从而实现抽真空的装置。分子泵的优点在于抽速高、无油污染、真空度高，适用于要求真空度高、洁净度高的场合，如半导体制造、薄膜镀层等领域。离子泵离子泵的工作原理离子泵利用电场和磁场将气体分子电离成正负离子，并利用电场将离子加速轰击到阴极上，从而将气体分子捕获，最终达到真空的效果。结构特点离子泵体积小，重量轻，无油污染，可以获得极高的真空度，适用于高真空和超高真空的应用场合。应用场景离子泵广泛应用于半导体制造、科学研究、真空镀膜、真空封装等领域。扩散泵扩散泵是一种利用高压蒸汽流的动量传递来抽取气体的真空泵，其工作原理是利用高压蒸汽流的动量传递来抽取气体。高压蒸汽流从喷嘴喷出，与气体分子碰撞，将气体分子推向真空侧，从而实现抽气。扩散泵通常用于获得高真空，其抽气速度高，抽气效率高，但需要冷却水和冷凝器来冷却蒸汽，使用过程中需要定期更换油，价格相对较高。涡轮分子泵涡轮分子泵是一种利用高速旋转的叶轮，将气体分子撞击到叶轮表面，并将其向抽气方向运动的高真空泵。涡轮分子泵主要用于超高真空领域，例如科学研究、半导体制造、薄膜沉积等。与其他真空泵相比，涡轮分子泵具有以下特点：抽速高、真空度高、无油污染、运行稳定等。真空计的分类和原理1热阴极真空计热阴极真空计是利用热阴极发射的电子流在气体中运动时与气体分子碰撞而产生的离子流来测量气体压力的。2冷阴极真空计冷阴极真空计是利用气体在电场作用下发生电离而产生的离子流来测量气体压力的。3机械真空计机械真空计是利用气体压力对弹性元件的作用力来测量气体压力的。4其他真空计除了上述几种真空计之外，还有离子真空计、压电真空计、热电偶真空计等，它们各有其特点和适用范围。真空计的校准标准真空计校准使用精度更高的标准真空计对待校真空计进行校准，确保待校真空计的准确性。校准气体选择选择与待校真空计工作气体相一致的校准气体，确保校准结果的准确性。环境温度控制校准过程中保持环境温度稳定，避免温度变化对校准结果造成影响。校准点选择选择合适的校准点，覆盖待校真空计的工作范围，保证校准的全面性。校准结果记录记录校准结果，并绘制校准曲线，方便后续使用和分析。真空系统的组成真空泵真空泵是真空系统的心脏，用于抽取真空腔室内的气体，降低气体压力。真空腔室真空腔室是进行真空操作的密闭空间，通常由金属或玻璃制成。真空计真空计用于测量真空腔室内的压力，以控制真空度。真空阀门真空阀门用于控制真空系统中气体流