干式涡旋真空泵的发展与关键问题.docx

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涡旋真空泵是一种无油容积式机械真

空泵，具有构造简洁，有效容积利用系数大，压缩比大，在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速，真空度高，驱动力矩小，功率变化小，振动噪声低，牢靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的进展、目前不同构造型式产品的工作原理、间隙和密封、构造特点、存在的技术问题及相应的解决方法等。

1、涡旋真空泵的争论进展涡旋理论是法国人LenoCreux于1905年以可逆转的涡旋膨胀机为题申请了美国专利。但由于当时的加工制造水平有限，涡旋盘涡旋齿型线的加工精度无法得到保证，涡旋机械在很长的一段时间内没有被制造出来。20世纪

70年月开头，能源危机的加剧和高精度数

控机