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洁净室的运行与管理
天津大学涂光备
第1章洁净室的制度与纪律
洁净室内的人员是洁净室室内污染的重要来源。洁净室内几乎所有的微生物均是来自人员。因
此,必须尽可能减少洁净室内人员活动所造成的和传播的污染,以确保室内洁净度及降低维护费用。制订洁净室的纪律,其目的就是使产品的污染风险降至最低。
1.1严格控制进入洁净室的人员
人在行走时,每分钟可以产生约百万个粒径≥0.5μm的粒子以及几千个带有微生物的粒子。洁净室内人员越多,散发的粒子数量必然也越多。因此,应尽量控制洁净室内人员数量,也就是说仅允许必需的人员进入洁净室。
1.1.1对洁净室工作人员的基本要求
1.对洁净室工作人员身体状况的基本要求;
2.对洁净室工作人员卫生习惯的基本要求;
3.对洁净室工作人员携带私人物品的限制。
1.1.2对洁净室维修人员和服务人员的
基本要求
1.获得许可方能进入
2.培训与监督
3.穿着洁净服
4.洁净室专用工具
5.带入工具部件需清洗
6.文字、图纸、资料的进入
7.产尘作业需隔离
8.维修工作后的清扫
1.2洁净室内需遵守的纪律
为保证产品不受污染,洁净室内的工作人员必须遵守相关的行为准则。洁净室管理人员必须制订出一套与其洁净室产品要求相适应的规章制度,在人员培训中,予以宣讲、公布。
1.2.1防止沿通道逆向气流增加污染的纪律
为防止空气不会从高污染区向低污染区,由洁净室外走廊向生产车间气流逆向流动,工作人员应遵守以下纪律:
1.人员必须经过更衣区进出洁净室
2.洁净室所有的门应随时关闭
3.手动关门、开门的动作要慢
4.穿过气闸室的注意点
图1门不得敞开
图.2门上安装有关门器
1.2.2防止工作人员在洁净室内的不当动
作增加污染的纪律
为保证人员的动作不会在洁净室内造成过多的污染,应考虑下面的相关建议:
1.工作人员不允许有不当行为
人员污染物的产生量与活动量成正比。因此,要求洁净室所有人员不要“轻举妄动”,任何移动都应慎重,并按规定要求进行,不允许过多无用的举止。
图3粒子散发与人的活动的关系
≥0.3μm产尘量
活动状况
≥0.3μm产尘量
活动状况
100,000
站立或坐下,无活动
7,500,000
步行—
500,000
站立或坐下,前腕及头轻微活动
10,000,000
步行—
1,000,000
站立或坐下,全手腕、手、头,躯体运动
10,000,000
登上椅子的动作
2,500,000
起立或坐下的动作
15,000,000
体操
5,000,000
步行—
30,000,000
跳跃
表1粒子散发与人的活动的关系
2.操作人员要正确站位
人员相对产品而言,应处在正确的位置上,这样污染物才不致落在产品上。人员在单向流中工作时,他们应避免处于产品和洁净空气源之间。操作方法应预先计划好,使这类污染降至最低。
(b)人员/产品/环境保护
图4在水平、垂直单向流中生产人员的正确站位
水平气流垂直气流
(a)产品保护
3.移动或拿起产品的方法
为防止戴有手套的手沾污产品,建议采用“无接触”方式抓起产品。虽然在洁净室中人员戴有手套,尽管污染会少些,但它仍然可能成为污染源。
图5不得用手直接触摸产品
图6不得用裸手捏住产品边缘
图7不得用戴手套的手指抓住产品
“无接触”方式:长夹子与真空棒的示例
图8长夹子可减少接触污染图9用真空棒抓住产品
4.人员不应靠身体来搬运材料
尽管人员穿着的洁净服比普通服装或工作服洁净得多,但服装上仍然存在粒子、纤维及微生物并且有可能因不当操作转移到所搬运的物品上。
图10不得抱着材料
5.人员不宜触摸、倚靠洁净室的任何表面
尽管洁净室的表面比室外要洁净得多,但在其表面,在室内设备的表面上,仍会存留有粒子、纤维及细菌。如果人员从这些表面上粘上污染物,这些污染物就可能传到产品。在洁净室内无需用手时,宜两手抓紧置于身前——象手术医生所做的那种姿势。
图11不得触摸工作台等的表面
6.人员在工作时不应说话
说话、咳嗽、打喷嚏等都会使唾液从口罩与皮肤的缝隙处喷出而污染产品。在咳嗽或打喷嚏时,必须将头从产品处移开。打喷嚏后一般都要更换口罩。口罩一定要罩在鼻子上而不得戴在鼻下。
图12打喷嚏时喷出的粒子图13发字母“F”音时喷出的粒子
图14要正确地佩戴口罩
1.2.3防止洁净室内材料使用不当而增加
污染的纪律
1.在洁净室中应使用污染程度低的抹布
2.洁净室之间应尽可能减少材料的移动
3.防止
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