晶硅电池制备工艺切片制绒扩散.ppt

乙醇浓度30vol%时的绒面形貌第65页,共105页，星期六，2024年，5月关键因素的分析

——不同时间制绒形貌的描述经热的浓碱去除损伤层后，硅片表面留下了许多肤浅的准方形的腐蚀坑。1分钟后，金字塔如雨后春笋，零星的冒出了头；5分钟后，硅片表面基本上被小金字塔覆盖，少数已开始长大。我们称绒面形成初期的这种变化为金字塔“成核”。10分钟后，金字塔密布的绒面已经形成，只是大小不均匀，反射率也降到了比较低的水平。随着时间的延长，金字塔向外扩张兼并，体积逐渐膨胀，尺寸趋于均等。第66页,共105页，星期六，2024年，5月制绒液中含有15克/升的NaOH和10vol%的乙醇，温度85℃经过1min制绒的表面形貌第67页,共105页，星期六，2024年，5月经过5min制绒的表面形貌第68页,共105页，星期六，2024年，5月经过10min制绒的表面形貌第69页,共105页，星期六，2024年，5月经过30min制绒的表面形貌第70页,共105页，星期六，2024年，5月不同时间制绒后，硅片的反射谱第71页,共105页，星期六，2024年，5月工艺控制方法若出现雨点状的斑点，只要加入少量乙醇或异丙醇即可消除。若硅片上端部分光亮，表明液位不够或溶液粘稠度过大，使篮框漂浮起来。若硅片表面有流水印，说明溶液内硅酸钠过量，适当加大NaOH的用量；还有可能喷淋效果不理想。第72页,共105页，星期六，2024年，5月硅酸钠含量的检测硅酸钠具体含量测量是没必要的，只要判定它的含量是否过量即可。实验是用100%的浓盐酸滴定，若滴定一段时间后出现少量絮状物，说明硅酸钠含量适中；若滴定开始就出现一团胶状固体且随滴定的进行变多，说明硅酸钠过量。第73页,共105页，星期六，2024年，5月制绒岗位须知与步骤制绒须知：了解清洗间使用的各种原辅料的特性（包括：硅片、HF酸、HCL酸、铬酸、酒精、硅酸钠），做到能正确辨别、正确使用。懂得各种溶液的配备及生产过程中的正确防护。保证送入扩散间的硅片与相应的流程卡一一对应，而且数据准确。懂得各《操作记录》及《工序流程卡》的正确填写，确保生产过程中的统计准确。制绒步骤：佩带防护眼镜、口罩、手套－花篮准备－将硅片防入花篮－机器上料－开始制绒－制绒２０分钟－开启制绒槽盖－抽检一片－目视制绒效果（有无白斑）－将硅片放入槽中关闭槽盖－放入水槽－抽检一片－氮气枪吹干－电子显微镜观察绒面－将硅片放入水槽－开启制绒槽－化学品加液－关闭制绒槽盖－制绒完毕－填写表单第74页,共105页，星期六，2024年，5月注意事项NaOH、HCl、HF都是强腐蚀性的化学药品，其固体颗粒、溶液、蒸汽会伤害到人的皮肤、眼睛、呼吸道，所以操作人员要按照规定穿戴防护服、防护面具、防护眼镜、长袖胶皮手套。一旦有化学试剂伤害了员工的身体，马上用纯水冲洗30分钟，送医院就医。第75页,共105页，星期六，2024年，5月制绒工艺要求：1.停机1小时以上，要将刻蚀槽的药液排到tank，减少药液的挥发。2.停机15分钟以上要用水枪冲洗碱槽喷淋及风刀，以防酸碱形成的结晶盐堵塞喷淋口及风刀。3.停机1h以上，要跑假片，至少一批（400片）且要在生产前半小时用水枪冲洗风刀处的滚轮，杜绝制绒后的片子有滚轮印。第76页,共105页，星期六，2024年，5月扩散原理扩散工艺是制造太阳能电池的心脏p-n结6.3、扩散第77页,共105页，星期六，2024年，5月什么是扩散？定义扩散是一种由热运动所引起的杂质原子和基体原子的输运过程；由于热运动，把原子从一个位置输运到另一个位置，使基体原子与杂质原子不断地相互混合，从而改变基片表面层的导电类型。特征浓度差别的存在是产生扩散运动的必要条件，环境温度的高低则是决定扩散运动快慢的重要因素。扩散时间也是扩散运动的重要因素，时间愈长，扩散浓度和深度也会增加。扩散机制磷在硅中的扩散机制分为空位式扩散和替位填隙式扩散第78页,共105页，星期六，2024年，5月替位填隙式扩散：硅片像海绵一样充满着许多空隙，硅原子之间存在着很大的缝隙；当磷进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，磷原子就以替代的方式占据着硅的位置。空位式扩散：在一定的温度下，构成晶体的原子围绕着自己的平衡位置不停地振动，其中总可以具有足够高的能量，克服周围原子对它的作用，离开原来的晶格位置，这样就在原来的位置上留下一个空位。当邻近的原子向空位迁移时，这种机理称为空位扩散。杂质原子S