高纯气体洁净度的控制标准.docx

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高纯气体干净度的掌握标准

一、高纯气体的重要标度

通常，高纯气体系指气体中含较少杂质气氛〔纯度〕，微量水份〔枯燥度〕污染物粒子的娄量保持在最低限度，其粒度也应是最小的〔干净度〕。因此，对于高纯气体，纯度、枯燥度、干净是三项重要的标度。

特别是近10年来，随着更简单、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体干净度的要求，其重要程度已不亚于对纯度和枯燥度有严格要求的用气工艺，无一不对其中的粒子提出限制。

二、掌握粒子污染的重要性

对于掌握粒子污染的重要性，在集成电路生产、试验部门已经有所生疏，同时，实践已向人们说明，气体的粒子可造成微日子产品的短路或断路，转变半导体材料的电性能，也