JJF(皖) 98-2020 微纳米线间隔标准样板校准规范.pdf

~aF＜沪苏浙皖）

沪苏浙皖地方计量校准规范

JJF（院）98-2020

微纳米线间隔标准样板校准规范

Calibrati。nSpecificationforMier。／Nan。－PitchStandards

2020-10-22发布2020-11-15实施

上海市市场监督管理局

江苏省市场监督管理局发布

浙江省市场监督管理局

安徽省市场监督管理局

JJF（皖）98-2020

微纳米线间隔标准样板

校准规范

~J~MO好~1

CalibrationSpecificati。nfor

Mier。／Nan。－PitchStandards

归口单位z上海市市场监督管理局

江苏省市场监督管理局

浙江省市场监督管理局

安徽省市场监督管理局

主要起草单位：上海市计量测试技术研究院

同济大学

参加起草单位：中国计量科学研究院

本规范由上海市计量测试技术研究院负责解释

JJF（院）98-2020

本规范主要起草人：

傅云霞（上海市计量测试技术研究院）

程鑫彬（同济大学）

雷李华（上海市计量测试技术研究院）

参加起草人E

高思田（中国计量科学研究院）

魏佳斯（上海市计量测试技术研究院）

JJF（院）98-2020

目录

目录．．．．．”…”……………””………·”………·………………!

引言．．．．……………II

1范围……………1

2引用文献”………“…1

3术语”…”…”…·…….1

1

3.1微纳米线间隔…．．“．．．…．．…．．…．．…．．…．．……．．．“．．．“．．．“．．．“…．．…

3.2扫描探针显微镜“…………1

3.3计量型扫描探针显微镜”…………1

3.4重心间距””…·”…·”…·”…·”…·”…·”…·”………………”…·”…·”1

4概述……．…．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．…．．．．．．．．．…2

5计量特性．．．．．．．．．“…··……2

5.1平均线间隔．．．．””…·”…·”…·”…·”…·”…·”………………”…·”2

5.2二维线间隔的正交性…··”……··…··…··…··”………“…“…“……“………··”...3

5.3线间隔均匀性…··”……··”……··………………“…“……··……………..3

6校准条件”…·”………·………………….3

6.1环境条件”．．．”．．．．．．．．．．……………．”3

6.2测量标准及其他设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．……………3

7校准项目和校准方法…………··“……·……3

7.1平均线间隔．．