DB3402T 91—2024OGS触控屏黑光阻制程工艺.pdf

ICS33.120.99

CCSM05

3402

芜湖市地方标准

DB3402/T91—2024

OGS触控屏黑光阻制程工艺

ProcesstechnologyforOGStouchscreenblackphotoresist

2024-12-16发布2025-01-01实施

芜湖市市场监督管理局发布

前言

本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由芜湖长信科技股份有限公司提出。

本文件由芜湖市工业和信息化局归口。

本文件起草单位:芜湖长信科技股份有限公司、芜湖长信新型显示器件有限公司、赣州市德普特科

技有限公司、芜湖市标准化研究院。

本文件主要起草人：郑建军、余志辉、钟素文、王胜、徐娇、殷旬旬、李伟、张恒军、王雨晨、王

灿。

OGS触控屏黑光阻制程工艺

1范围

本文件规定了OGS触控屏黑光阻组成成分、环境要求、制程工艺的要求。

本文件适用于OGS触控屏黑光阻制程。

注：OGS即单片玻璃方案，在单片玻璃表面直接形成透明导电膜及传感器，具有保护和触摸传感器双重作用的技术。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T25915.1洁净度及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

黑光阻blackphotoresist

一种由光聚合性树脂、光聚合性单体、光引发剂、黑色颜料、溶剂等组成的混合物。

3.2

黑光阻显影液blackphotoresistdeveloper

一种主要由氢氧化钾、表面活性剂组成的，能够和曝光后的黑光阻（3.1）进行化学反应的药液。

4组成成分

黑光阻组成成分见表1。

表1黑光阻组成成分

组成成分浓度范围

光聚合性树脂1%～10%

光聚合性单体1%～10%

光引发剂0.1%～5%

黑色颜料20%～60%

芳香族添加物1%～5%

丙二醇甲醚醋酸酯40%～70%

注：光聚合性树脂分为亚克力系与硅系。

5环境要求

2镀膜的玻璃基板上通过涂布机涂上一层黑光阻，经前烘烤固化后，利用365nm波段的紫

外光通过光罩选择性地曝光黑光阻，曝光部分黑光阻发生交联反应，随后通过控制显影时间去除未曝光

区域黑光阻，再经过后烘烤彻底固化，最终在基板上形成所需图案。

6.2工艺流程

OGS触控屏黑光阻制程工艺流程见图1。

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