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高精度喷墨打印制造光学微透镜阵列.pdf

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摘要

随着现代工业科技不断向着微型化和集成化发展,微机电系统也获得了巨大的发展,而

微机电系统与光学相结合又衍生出一个重要的发展方向即微光机电系统。光学微透镜是现代

微光学中主要研究对象之一,其主要作用就是对光进行反射、折射。微透镜阵列在生物医疗、

高清成像、仿生复眼和光纤耦合等许多重要领域有着非常广泛的应用。文章对目前传统的微

透镜阵列制造工艺进行了分析对比,针对所存在的效率低、精度低和成本高等问题提出基于

电场辅助的喷墨打印技术用于微透镜阵列的制造。

首先,对电场辅助喷墨打印系统的工作原理

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