材料分析教学课件-sem.pptVIP

SEM材料分析教学课件欢迎参加扫描电子显微镜(SEM)材料分析课程。本课程将深入探讨SEM技术在材料科学领域的应用。我们将学习仪器原理、样品制备和图像分析等关键内容。

课程学习目标掌握SEM基本原理理解扫描电子显微镜的工作原理和基本概念。熟悉仪器操作学习SEM仪器结构和样品制备方法。图像分析技能培养SEM图像观察和分析能力。应用于材料研究掌握SEM在材料科学中的实际应用。

SEM基本原理电子束生成电子枪产生高能电子束。电子束聚焦电磁透镜系统将电子束聚焦成细束。样品扫描电子束在样品表面进行扫描。信号收集探测器收集二次电子等信号。图像形成计算机处理信号生成高分辨率图像。

仪器结构及工作原理电子光学系统包括电子枪、聚光镜和物镜。用于产生和控制电子束。扫描系统控制电子束在样品表面的扫描。由扫描线圈组成。信号检测系统收集二次电子、背散射电子和X射线等信号。包括各种探测器。真空系统维持仪器内部高真空环境。确保电子束稳定传输。

样品制备及进样方法1样品清洁去除表面污染物，确保样品表面洁净。2导电处理非导电样品需喷金或喷碳，增加导电性。3样品固定将样品稳固地固定在样品台上。4进样将样品台放入SEM样品室，抽真空后开始观察。

扫描电子显微镜工作模式二次电子模式主要用于观察样品表面形貌。提供高分辨率的表面细节信息。背散射电子模式用于观察样品的成分分布。可区分不同原子序数的区域。X射线能谱分析模式进行元素分析。可获得样品的元素组成信息。透射电子模式用于观察超薄样品的内部结构。需要特殊的样品制备。

成像及分辨率放大倍数SEM可实现10-500,000倍的放大。分辨率最高可达1nm，远优于光学显微镜。景深具有较大景深，可观察立体样品。对比度可通过调节参数优化图像对比度。

图像观察和分析1图像获取调节参数，获取高质量SEM图像。2图像处理对比度调节、降噪等图像优化。3特征提取识别和量化图像中的关键特征。4数据分析统计分析、尺寸测量等深入分析。5结果解释综合分析结果，得出科学结论。

扫描电流和加速电压的影响扫描电流影响信号强度和图像亮度。增大电流可提高信噪比，但可能损伤样品。加速电压影响电子穿透深度和分辨率。高电压提高分辨率，但可能导致样品充电。

电子束与样品相互作用入射电子高能电子束照射样品表面。电子散射电子与样品原子发生弹性和非弹性散射。信号产生产生二次电子、背散射电子、特征X射线等信号。信号逸出部分信号从样品表面逸出被探测器收集。信息获取不同信号携带样品的形貌、成分等信息。

电子散射效应1弹性散射电子与原子核相互作用，能量基本不变，方向发生改变。2非弹性散射电子与原子外层电子相互作用，能量损失，产生二次电子。3散射体积电子在样品中的扩散范围，呈梨形，与加速电压和样品原子序数有关。4散射深度电子在样品中的最大穿透深度，影响信号的产生和收集。

二次电子和背散射电子二次电子(SE)能量低(50eV)，来自样品表层。主要用于观察表面形貌。具有高分辨率。背散射电子(BSE)能量高(50eV)，来自较深层。用于观察成分分布。对原子序数敏感。

X射线能量色散光谱分析1X射线激发电子束轰击样品产生特征X射线。2X射线收集能谱仪收集不同能量的X射线。3能谱生成将X射线能量转换为电脉冲。4谱线分析通过谱线位置和强度进行元素分析。

元素组成定性和定量定性分析通过特征X射线的能量识别样品中存在的元素。定量分析利用X射线强度确定元素的含量百分比。标准校正使用已知标准样品进行校正，提高定量精度。元素分布通过X射线面扫描绘制元素分布图。

粒子分布和形状分析粒径分布测量颗粒尺寸，绘制粒径分布直方图。形状因子计算圆度、长宽比等形状参数。团聚程度评估颗粒的分散或团聚状态。三维重构利用倾斜成像重构颗粒三维形貌。

相分析及相组成定量相识别利用BSE图像灰度差异识别不同相。结合EDS确定相的化学组成。相分布通过图像处理绘制相分布图。分析各相的空间分布特征。相含量定量计算各相的面积分数。利用立体学原理估算体积分数。

扫描电压和工作距离调节扫描电压选择低电压适合观察表面细节，高电压用于高分辨率成像。工作距离优化短工作距离提高分辨率，长工作距离增加景深。光圈大小调整小光圈提高分辨率，大光圈增加信号强度。扫描速度设置慢速扫描提高图像质量，快速扫描用于实时观察。

样品表面形貌表征1宏观形貌低倍观察整体形貌特征。2微观结构高倍分析微观形貌和结构。3表面粗糙度评估表面粗糙度和纹理。4缺陷分析识别表面缺陷如裂纹、孔洞等。5三维重构利用立体对进行三维形貌重构。

断口形貌观察断裂模式区分脆性断裂、韧性断裂等不同断裂模式。微观特征观察解理面、韧窝、疲劳条带等微观特征。起始位置确定断裂起始位置和扩展方向。成分分析结合EDS分析断口处的成分变化。

层次结构分析1宏观结构低倍观察样品整体结构特征。2微观结构高倍分析微观