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TEM-ED-SEM-STEM四种成像模式

TEM（透射电子显微镜）、ED（电子衍射）、SEM（扫描电子显微镜）和STEM（扫描透射电子显微镜）是四种不同的成像模式，它们各自具有独特的特点和应用领域。

一、TEM（透射电子显微镜）成像模式

成像原理：

电子束通过样品后，部分电子直接穿过样品形成透射电子，这些电子被探测器接收并形成图像。

主要成像方式：

明场成像（BrightFieldImaging）：只允许透射束通过物镜光阑进行成像，适用于观察样品的整体形貌和晶体缺陷。

暗场成像：通过选择特定散射角度的电子进行成像，能突出样品中的特定结构。

中心暗场成像（CenterDarkFieldImaging）：特别强调衍射束沿透射光轴方向的成像，通常具有更好的成像质量。

HRTEM（高分辨透射电子显微镜）：通过直接成像电子波的干涉图样，实现对晶体结构的原子级分辨率成像。

应用领域：

材料科学：观察材料的微观结构和缺陷。

生物学：观察生物样品的超薄切片。

二、ED（电子衍射）成像模式

成像原理：

利用电子束与样品相互作用产生的衍射现象来获取样品的晶体结构信息。

主要应用：

确定样品的晶体结构、结晶度和相组成。

三、SEM（扫描电子显微镜）成像模式

成像原理：

电子束在样品表面进行扫描，通过收集二次电子、背散射电子等信号来形成图像。

主要成像方式：

次外壳成像模式（SEI）：探测下方产生的二次电子和表面的次电子，形成次表面成像。

高角度底层成像模式（BSE）：观察带有原子序数反比于信号强度的图像。

散射电子成像模式（SED）：显示材料组织结构、缺陷、晶界面等信息。

反射电子成像模式（RSE）：改变电子束的入射角度，得到自然的反相成像。

应用领域：

观察任意固体样品的表面形貌和微观结构。

材料科学：研究材料表面的显微组织结构。

生物学：观察生物样品的表面形貌。

四、STEM（扫描透射电子显微镜）成像模式

成像原理：

电子束被聚焦到很小直径，在样品上进行扫描，通过收集透射电子或散射电子来形成图像。

主要成像方式：

明场像（BrightFieldImaging,BF）：收集直接透过的电子形成的图像。

暗场像：通过特定的探测器配置仅收集被样品散射的电子。

高角环形暗场像（HAADF）：利用大角度卢瑟福背散射电子进行成像，对元素的原子序数敏感。

环形明场像（ABF）：收集小角度散射的电子以及部分直接透射的电子。

能量过滤成像（EFI）和电子能量损失谱成像（EELSI）：揭示样品中发生的特定物理化学过程。

相干衍射成像（CDI）：利用电子波的相干性进行无透镜成像。

应用领域：

观察厚度较厚的样品或染色样品。

提供样品的化学成分信息和原子级分辨率的成像。

材料科学：研究复杂晶体结构和动态过程。

TEM、ED、SEM和STEM这四种成像模式各具特色，适用于不同的研究领域和应用场景。