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第7章压电传感器
7.1压电式传感器的工作原理
压电式传感器可以对各种动态力、机械冲击和振动进行测量，在
声学、医学、力学、导航方面都得到广泛的应用。它具有体积小、质量
轻、结构简单、频响高、信噪比大等特点。缺点是某些压电材料输出的
直流响应差，需要采用高输入阻抗电路或电荷放大器来克服这一缺陷。
压电式传感器的工作原理是基于电介质材料的压电效应，当对材
料的表面施加力时，其表面会产生电荷，电荷经电荷放大器和测量电路
放大变换后，成为与外力成正比的电输出，由此再进行测量。值得注意
的是压电传感器不能用于静态测量，并且经过外力作用后的电荷，只有
在回路具有无限大的输入阻抗时才得到保存。
2
7.1.1压电效应
压电效应可分为正压电效应和逆压电效应，当对电介质材
料施以外力时，电介质材料为了对抗变形会在材料表面产生正
负电荷，而这种因为形变而产生的电极化现象称为正压电效应
O
个
电荷
电极
晶体
未加外力
压缩外力
拉伸外力
正压电效应
3
当对电介质材料施加电场时，电介质材料表面就会出现一
些机械形变的现象，并且电介质材料形变的程度与对其施加的
外电场强度成正比，这种现象称为逆压电效应。
电极
内应张力
晶体
未施加电场
①外加反向电场
外加电场
逆压电效应
4
这种正压电效应能将机械能转换成电能，逆压电效应则反之。单晶材
料和多晶铁电陶瓷中都可产生压电效应。压电效应通常都源自于晶体结构
。石英等天然材料具有压电效应，原因就在于其自身的晶体结构。压电效
应被广泛应用于各种器件如振荡器、换能器、微型直线电机、滤波器等，
以及压电式传感器中。
压电材料的压电性涉及到力学和电学之间的相互作用，而压电方程就
是描述压电材料的力学量和电学量之间相互关系的表达式。在压电式传感
器中，压电方程通常表现为压电材料受到外力F时，压电材料的某一外表面
会产生相对应的电荷Q。其关系表示
Q=dF
关系式中的d指压电系数，d是一个常数。因为传感器中的压电材料所
受到力的方向和方式不同，其传感器的压电系数也会不同，所以常用d_ij来
表示不同的压电系数。
5
7.1.2压电材料
压电材料是指在受到压力电场的作用下能够呈现压电效应的一类材料
。这类压电材料可以用来设计高性能传感器。压电材料可分为无机压电材
料和有机压电材料两大类。
无机压电材料主要包括单晶体材料，压电陶瓷，如铅锆钛酸钾(PZT
)、硼酸钠(NaNO3)和锌氧化物(ZnO)等。这些材料具有优异的压电
性能和稳定性，广泛应用于传感器、换能器、电子元件等领域。
有机压电材料是一类相对较新的材料，由有机聚合物构成，如聚偏氟
乙烯(PVDF)和聚偏二氟乙烯三氟乙烯(P(VDF-TrFE))。有机压电材料
具有较高的柔韧性和可塑性，适合于弯曲和可穿戴应用。
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1.单晶体材料
石英是压电晶体的代表，石英晶体是一种应用广泛的压电晶体。它是
二氧化硅单晶体，属于六角晶系，为规则的六角棱柱体。石英晶体有3个晶
轴如图所示：X轴、Y轴和Z轴。Z轴又称光轴，它与晶体的纵轴线方向一致
:X轴又称电轴，它通过六面体相对的两个棱线并垂
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