传感器技术 课件 第4章 电容式传感器.pptx

第4章电容式传感器

原理：

利用电容器的原理，将非电量转换成电容量，进而实现

非电量到电量的转化的器件或装置，称为电容式传感器。

它实质上是一个具有可变参数的电容器。

优点：

测量范围大、灵敏度高、结构简单、适应性强、动态响

应时间短、易实现非接触测量等。

应用：

压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分

含量等测量之中。

4.1电容式传感器的工作原理及类型

用两块金属平板作电极可构成电容器，当忽略边缘效应时，

其电容C及原理图如下：

S—两个极板相对有效面积，也写为A;d—两个极板间的距离；

ε—两个极板间的介电常数，ε=8,80;F/m;ε,—相对介电常数；

8。—真空介电常数，其值为8.85×10-¹²F/m;

介电常数

介电常数，用于衡量绝缘体储存电能的性能.

它是两块金属板之间以绝缘材料为介质时的电容量与同样的两块板之间

以空气为介质或真空时的电容量之比。

电容式传感器原理：

改变电容C的方法有三种：d、S和ε中的某一项或几项有

变化时，就改变了电容值C;从而反映了被测量的大小。

电容式传感器的类型

三种基本类型：

变极距(变间隙)(d)型

变面积型(S)型

变介电常数(ε)型

(a)

(C)

(b)

(e)

(h)

(f)

(g)

(i)

(j)(k)(1)(m)

几种不同电容传感器的示意图

4.1.1变极距型电容传感器

图中极板1固定不动，极板2为可动电极(动片),当动片随被

测量变化而移动时，使两极板间距变化，从而使电容量产生变

化，其电容变化量△C为：(C₀—极距为d₀时的初始电容量)

1

d

2

变极距型电容传感器

C-d特性曲线

(a)(b)

特点：变极距型电容传感器器存在着原理非线性，所以实际应

用中，为了改善非线性、提高灵敏度和减小外界因素(如电源

电压、环境温度)的影响，所以常常作成差动结构或采用适当

的测量电路来改善其非线性。

例如：一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在20～100pF之间，

极板间距离在25～200μm的范围内，最大位移应小于间距的1/10,故在

微位移测量中应用最广。

※电容式传感器的灵敏度及非线性

下面讨论变极距型平板电容传感器的灵敏度。

情况1:二极板距离有一个增量(二极板接近)时，则：

情况2:当极板距离有一个增量

(二极板远离，考虑△C的大小):

综合上面两种情况：

所以，变极距型电容传感器，当△d/d,1,灵敏度为：

忽略高次项，有

注：也可认为极板移动后(△C带有正负):

于是：二式实质相同。

讨论：

①欲提高灵敏度，应减小间隙do,但受电容器击穿电压的限制；

②非线性随相对位移的增加而增加，为保证一定的线性度，应

限制动极板的相对位移量△d/d₀=0