MEMS轴对称陀螺机电耦合特性及ΣΔ调制系统优化研究.docx

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微机电系统）技术取得了显著进步，在众多领域得到了广泛应用。MEMS轴对称陀螺仪作为MEMS技术的重要应用之一，凭借其体积小、重量轻、成本低、易于集成等优势，在航空航天、汽车电子、消费电子、工业控制等领域展现出巨大的应用潜力。

在航空航天领域，MEMS轴对称陀螺仪可用于飞行器的姿态控制和导航定位。高精度的陀螺仪能够实时准确地测量飞行器的角速度，为飞行控制系统提供关键数据，确保飞行器在复杂的飞行环境中保持稳定的飞行姿态，实现精确的导航和控制，对保障飞行