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第一章绪论1
1.1课题的研究背景1
1.2磁控溅射技术的发展现状2
1.2.1磁控溅射技术的应用2
1.2.2双极性脉冲电源的应用4
1.3等离子体负载特性研究现状6
1.3.1等离子体负载的形成6
1.3.2等离子体负载的特性7
1.4研究内容8
第二章COMSOL等离子体磁场仿真10
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