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第58卷第5期撳纳电子技术Vol.58No.5
2021年5月MicronanoelectronicTechnologyMay2021
D〇I10-i3250/j.cnki.wndz.2021.05.005
%MEMS与铐感器|
基于PDMS-石墨烯泡沫的柔性压力传感器
程丽霞“2，郝晓剑、王任鑫、刘国昌1
(1.中北大学动态测试省部共建实验室，大原030051;
2.太原工业学院机械工程系，太原030008)
摘要：为了解决柔性压力传感器在大的工作范围内工作时难以兼顾灵敏度的问题，设计了一种基
于聚二甲基硅氧烷（PDMS)锥形微结构且夹层为石墨烯泡沫的柔性压力传感器。介绍了该传感
器的制备方法，对比了有无锥形微结构的PDMS基底对传感器灵敏度的影响，分别对它们进行
了相关测试。结果表明，具有锥形微结构基底的传感器具有更高的灵敏度，基于锥形微结构
PDMS-石墨烯泡沫压力传感器有较大的工作范围（0〜25kPa),灵敏度为0.177kPa—、几百
次的压力实验表明该传感器的重复性和可恢复性良好。因此，该传感器可以应用于电子皮肤和柔
性电子器件等领域。
关键词：压力传感器；柔性材料；石墨烯泡沫；聚二甲基硅氧烷（PDMS);电子皮肤；柔性电子
器件
中图分类号：TP212文献标识码：A文章编号：1671-4776(2021)05-0397-06
FlexiblePressureSensorBasedonPDMS-GrapheneFoam
ChengLixia1’2，HaoXiaojian，WangRenxin1，LiuGuochang1
(1.StateKeyLaboratoryofDynamicTestingTechnology♦NorthUniversityofChina♦Taiyuan030051»China；
2.DepartmentofMechanicalEngineering，TaiyuanInstituteofTechnology^Taiyuan030008♦China)
Abstract：Tosolvetheproblemthatitisdifficultfortheflexiblepressuresensortohavehigh
sensitivityinalargeworkingrange,aflexiblepressuresensorbasedonthepolydimethylsiloxane
(PDMS)conicalmicrostructurewithagraphenefoaminterlayerwasdesigned.Thepreparation
methodofthesensorwasintroduced.TheinfluencesofthePDMSsubstrateswithandwithout
theconicalmicrostructureonthesensitivityofthesensorswerecompared,andtherelevanttests
ofthesensorswerecarriedout
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