T_ZSA 231-2024 氧化镓单晶片X 射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法.docxVIP

ICS29.045CCSH21

团体标准

T/ZSA231-2024

氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

TestmethodforfullwidthathalfmaximumofdoublecrystalX-rayrockingcurveofGa2O3singlecrystalsubstrate

2024-05-15发布2024-05-16实施

中关村标准化协会发布

I

T/ZSA231-2024

目录

前言 II

氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法 1

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4检测原理 1

4.1晶体X射线衍射原理 2

4.2摇摆曲线测试原理 2

4.3晶体摇摆曲线半高宽 2

5仪器及校准 2

5.1光路配置 2

5.2样品台 3

5.3仪器校准 3

6测试样品 3

7干扰因素 3

8测试环境 4

9测试步骤 4

10精密度