有关于纳米划痕表征材料的案例总结.docxVIP

国内外文献中利用纳米划痕实验表征材料

特性的一些具体方法（实例）

①Applicationofnano-indentation,nano-scratchandsinglefibretestsininvestigationofinterphasesincompositematerials[J].HodzicA,KalyanasundaramS,KimJ,etal.Micron,2001,32(8):765-775.

纳米压痕、纳米划痕和单?bre测试在复合材料界面研究中的应用

在本实验中，研究者们为了研究聚合物±玻璃复合材料中相区对块状材料特性的影响，这项试验采用了三种新颖的实验技术：（1）微滴测试，即单个?bre测试，旨在表征?bre±基体键（界面区域）并确定复合材料中的界面剪切应力;（2）纳米压痕测试，一种新型纳米硬度技术，能够产生低至几纳米的压痕，以测量?bre±matrix界面区域的纳米硬度;（3）纳米划痕测试，与纳米压痕测试结合使用，用于测量界面区域宽度。

纳米压痕测试最初设计用于研究薄?lm和表面的材料特性（Oliver等人，1986年）。这种实验技术是有利的，因为它能够产生低至几纳米的压痕。这项工作中使用的设备是由NanoInstruments，Inc.制造的NanoIndenterII。纳米划痕测试用于研究?bre±matrix界面区域的宽度。这种新技术涉及在样品与金刚石尖端接触时移动样品，其摩擦系数由横向力和法向力的分数确定。因此，摩擦系数表示材料在切向方向上对尖端穿透的阻力。在这项工作中，法向力在实验过程中保持不变。尖端从基质移动到?bre，在接触较硬的间期区域后逐渐减小其穿透深度。实验使用法向力的两个值0.4和1mN进行，以研究穿透深度与相间宽度的?nal测量值的关系。

通过纳米压痕和纳米划痕技术研究了干式和水老化聚合物±玻璃复合材料中的界面区域。纳米压痕测试涉及小至30nm深度的压痕，沿?bre和基体之间的14mm路径产生。干燥材料中的2±3个压痕和水老化、降解材料中多达15个压痕揭示了界面区域的不同特性。这些结果表明水龄间期区域的相互扩散。纳米划痕测试涉及在与金刚石尖端接触时移动样品。纳米划痕测试与纳米压痕测试结合使用，准确测量了界面区域的宽度。

②Nanotwinninginmonocrystallinesiliconuponnanoscratching[J].

KausalaM,L.C.Z.ScriptaMaterialia,2011,65(3):214-216.

纳米划痕时单晶硅中的纳米孪生

本文中提到，使用高分辨率扫描和透射电子显微镜以及微拉曼光谱的研究表明，纳米划痕产生的表面形貌受划痕速度和载荷的强烈影响。在低速下，纳米晶体可以出现在非晶硅区域内，而在高速时，只有非晶硅存在。在高负载下，会引发位错。对纳米划痕诱导的硅变形的透射电子显微镜研究也表明，法向载荷和尖端半径对变形有显着影响。非晶化发生在极小的载荷下，堆叠断层和孪晶在小于位错的载荷下成核。在通过离子注入产生的直径大于6nm的硅纳米晶体中也观察到纳米孪晶，因此，作者认为了解纳米划痕的机制和条件非常重要，在这种机制和条件下，单晶硅中的孪生和位错将发生。

表1显示了不同纳米划痕深度的平均法向力和刮擦力。稳态纳米划痕状态下的法向力和划痕力分别是相应的垂直力和水平瞬时力的平均值。在0.5nm的浅划痕深度下，非晶相变是唯一出现的亚表面损伤类型。

通过研究纳米划痕行为，本实验最终得出纳米划痕作用下单晶硅的以下变形机制：当划痕深度达到临界值时，除了非晶相变外，纳米孪生还将出现在地下。然而在0.5nm的深度划痕时（图1a），尖端会穿过衬底，探针前面的衬底原子堆积可以忽略不计。在所有其他情况下，犁出的原子在探针前面积累并形成碎屑。较深的划痕导致更大的切屑体积，从而产生更高的抗划痕性，因此划痕力更大，如表1中力比F/F的增加所示。

通过研究纳米划痕行为，本实验最终得出纳米划痕作用下单晶硅的以下变形机制：当划痕深度达到临界值时，除了非晶相变外，纳米孪生还将出现在地下。

③Nanoscratchtesterforthinfilmmechanicalpropertiescharacterization[J].

RandallXN,ConsiglioRReviewofScientificInstruments,2000,71(7):2796-2799.

用于薄膜机械性能表征的纳米划痕测试仪

Randa