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任务3.3基于压电式传感器的物体压力检测电容器的电容量为:(3-27)式中A——压电片的面积,单位为m2;δ——压电片的厚度,单位为m;εr——压电材料的相对介电常数;ε0——真空的介电常数(ε0=8.85×10-12F/m)。而电容器上的电压Ua、电荷量Q和电容量Ca三者之间的关系为:(3-28)任务3.3基于压电式传感器的物体压力检测在实际使用中,压电式传感器总是与测量仪器或测量电路相连接,因此还须考虑连接电缆的等效电容Cc、放大器的输入电阻Ri、放大器输入电容Ci以及压电式传感器的泄露电阻Ra,这样,压电式传感器在测量系统中的实际等效电路如图3-28所示。(a)电荷等效图(b)简化的电荷等效图任务3.3基于压电式传感器的物体压力检测(c)电压等效电路(d)简化的电压等效电路图3-28放大器输入端等效电路任务3.3基于压电式传感器的物体压力检测2.测量电路由于压电传感器本身的内阻抗很高(通常1010Ω以上),输出能量较小,因此它的测量电路通常要接入一个高输入阻抗前置放大器。其作用一是把它的高输出阻抗(一般1000MΩ以上)变换为低输出阻抗(小于100Ω);二是放大传感器输出的微弱信号。压电传感器的输出可以是电压信号,也可以是电荷信号,因此前置放大器也有电压放大器和电荷放大器两种形式。任务3.3基于压电式传感器的物体压力检测2.测量电路由于压电传感器本身的内阻抗很高(通常1010Ω以上),输出能量较小,因此它的测量电路通常要接入一个高输入阻抗前置放大器。其作用一是把它的高输出阻抗(一般1000MΩ以上)变换为低输出阻抗(小于100Ω);二是放大传感器输出的微弱信号。压电传感器的输出可以是电压信号,也可以是电荷信号,因此前置放大器也有电压放大器和电荷放大器两种形式。任务3.3基于压电式传感器的物体压力检测(1)电荷放大器由于运算放大器的输入阻抗很高,其输入端几乎没有分流,故可略去压电式传感器的泄漏电阻Ra和放大器输入电阻Ri两个并联电阻的影响,将压电式传感器等效电容Ca、连接电缆的等效电容Cc、放大器输入电容Ci合并为电容C后,电荷放大器等效电路如图3-28(b)所示。它由一个负反馈电容Cf和高增益运算放大器构成。图中运算放大器的增益为A。由于负反馈电容工作于直流时相当于开路,对电缆噪声敏感,放大器的零点漂移也较大,因此一般在反馈电容两端并联一个电阻Rf,其作用是为了稳定直流工作点,减小零漂;Rf通常为1010~1014Ω,当工作频率足够高时,1/RfωCf,可忽略(1+A)/Rf。反馈电容折合到放大器输入端的有效电容为Cf′=(1+A)Cf。任务3.3基于压电式传感器的物体压力检测由于(3-29)因此输出电压为(3-30)式中“-”号表示放大器的输入与输出反相。当A1(通常A=104~106),满足(1+A)Cf>10(Ca+Cc+Ci)时,就可将上式近似为(3-31)任务3.3基于压电式传感器的物体压力检测由此可见,电荷放大器的输出电压Uo只取决于输入电荷Q与反馈电容Cf,与电缆电容Cc无关,且与Q成正比,这是电荷放大器的最大特点。为了得到必要的测量精度,要求反馈电容Cf的温度和时间稳定性都很好,在实际电路中,考虑到不同的量程等因素,Cf的容量做成可选择的,范围一般为100?104pF。任务3.3基于压电式传感器的物体压力检测(2)电压放大器电压放大器的功能是将压电传感器的高输出阻抗变为较低阻抗,并将压电式传感器的
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