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河南化工

·３４·ＨＥＮＡＮＣＨＥＭＩＣＡＬＩＮＤＵＳＴＲＹ２０２３年第４０卷

张永明．电子级氢氟酸的除砷工艺研究［Ｊ］．河南化工，２０２３，４０（１２）：３４－３７．

DOI:10.14173/j.cnki.hnhg.2023.12.011

电子级氢氟酸的除砷工艺研究

张永明

（多氟多新材料股份有限公司，河南焦作４５４１９１）

摘要：电子级氢氟酸中的砷杂质对集成电路的性能有很大影响。采用微反应器氧化预处理，结合精馏工艺除砷。

考察了不同氧化反应器、氧化剂用量、反应温度、后处理方式对无水氢氟酸去砷效果的影响，提供了建议性的电子

级氢氟酸除砷工艺路线。

关键词：电子级氢氟酸；无水氢氟酸；氧化剂；除砷工艺

中图分类号：ＴＱ１２４．３，ＴＱ０２８．８文献标识码：Ａ文章编号：１００３－３４６７（２０２３）１２－００３４－０４

ＡｒｓｅｎｉｃＲｅｍｏｖａｌＰｒｏｃｅｓｓＲｅｓｅａｒｃｈｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃ－ＧｒａｄｅＨｙｄｒｏｆｌｕｏｒｉｃＡｃｉｄ

ＺＨＡＮＧＹｏｎｇｍｉｎｇ

（Ｄｏ－ＦｌｕｏｒｉｄｅＮｅｗＭａｔｅｒｉａｌｓＣｏ．，Ｌｔｄ．，Ｊｉａｏｚｕｏ４５４１９１，Ｃｈｉｎａ）

Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅａｒｓｅｎｉｃｃｏｎｔｅｎｔｏｆｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ－ｇｒａｄｅｈｙｄｒｏｆｌｕｏｒｉｃａｃｉｄ（ＤＨＦ）ｈａｓａｇｒｅａｔｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｎｔｈｅ

ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｃｉｒｃｕｉｔ．Ｍｉｃｒｏ－ｒｅａｃｔｏｒｏｘｉｄａｔｉｏｎｐｒｅｔｒｅａｔｍｅｎｔｃｏｍｂｉｎｅｄｗｉｔｈｄｉｓｔｉｌｌａｔｉｏｎｐｒｏｃｅｓｓ

ｉｓｍａｉｎｌｙｕｓｅｄｔｏｒｅｍｏｖｅａｒｓｅｎｉｃｉｍｐｕｒｉｔｉｅｓ．Ｔｈｅｅｆｆｅｃｔｓｏｆｄｉｆｆｅｒｅｎｔｏｘｉｄａｔｉｏｎｒｅａｃｔｏｒ，ｏｘｉｄａｎｔａｍｏｕｎｔ，ｒｅ⁃

ａｃｔｉｏｎｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅａｎｄｐｏｓｔ－ｔｒｅａｔｍｅｎｔｍｅｔｈｏｄｓｏｎｔｈｅｒｅｍｏｖａｌｏｆａｒｓｅｎｉｃｂｙｈｙｄｒｏｆｌｕｏｒｉｃａｃｉｄａｒｅｉｎｖｅｓｔｉ⁃

ｇａｔｅｄ．Ａｒｅｃｏｍｍｅｎｄｅｄｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｇｒａｄｅｈｙｄｒｏｆｌｕｏｒｉｃａｃｉｄａｒｓｅｎｉｃｒｅｍｏｖａｌｐｒｏｃｅｓｓｒｏｔｅｉｓｐｒｏｖｉｄｅｄ．

Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ－ｇｒａｄｅｈｙｄｒｏｆｌｕｏｒｉｃａｃｉｄ；ａｎｈｙｄｒｏｕｓｈｙｄｒｏｆｌｕｏｒｉｃａｃｉｄ；ｏｘｉｄａｎｔ；ａｒｓｅｎｉｃｒｅｍｏｖａｌ

ｐｒｏｃｅｓｓ

腐蚀性，主要用于集成电路（ＩＣ）和超大规模集成电

０前言

路（ＶＬＳＩ）、太阳能光伏板、液晶显示器的制造过程，

电子级氢氟酸是无水氟化氢的水溶液，常温下还可作为分析试剂以及用于制备高纯度含氟化学

［１］

为易挥发的无色透明液体，有刺激性气味和极强的品。

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此，反应温度为６０℃，催化剂为５％Ｃｕ（ＯＴｆ）时，