传感器原理与技术课件：光栅位置传感器的工作原理与应用.pptx

Workingprincipleandapplicationofgratingpositionsensor光栅位置传感器的工作原理与应用光栅位置传感器的工作原理与应用位移检测、速度和加速度检测

光栅是由很多等节距的透光缝隙和不透光的刻线均匀相间排列构成的光电器件光栅物理光栅计量光栅

物理光栅利用光的衍射现象光栅计量光栅物理光栅衍射现象光谱分析光波长等量的测量

计量光栅主要利用莫尔现象，测量位移、速度、加速度、振动等物理量。光栅物理光栅计量光栅莫尔现象位移速度加速度振动

本节课，我们学习的主要内容是光栅位置传感器的工作原理与应用。光栅位置传感器的工作原理与应用

光栅式传感器实际上是光电式传感器的一个特殊应用。光栅式传感器光电式传感器莫尔条纹

把光栅作为测量元件，具有结构原理简单、测量精度高等优点测量元件结构原理简单测量精度高

在数控机床数控机床精密定位长度速度加速度振动测量

首先，我们先来学习光栅位置传感器的工作原理。光栅位置传感器的工作原理

如图5-3-4所示图5-3-4光栅位置传感器的结构

当主光栅产生位移时，莫尔条纹便随着产生位移图5-3-4光栅位置传感器的结构

当主光栅产生位移时，莫尔条纹便随着产生位移图5-3-4光栅位置传感器的结构

当主光栅产生位移时，莫尔条纹便随着产生位移图5-3-4光栅位置传感器的结构

若用光敏元件记录莫尔条纹通过某点的数目图5-3-4光栅位置传感器的结构

通过驱动线路转换输出便可知主光栅移动的距离图5-3-4光栅位置传感器的结构转换输出

也就测得了被测物体的位移量，从而知道了被测物体的精确位置。被测物体位移量精确位置图5-3-4光栅位置传感器的结构

利用上述原理，通过多个光电器件对莫尔条纹信号的内插细分，便可检测出光栅距很小的位移量，以及被测物体的移动方向。通过多个光电器件对莫尔条纹信号的内插细分光栅距很小的位移量被测物体的移动方向

接下来，我们学习光栅传感器的应用。光栅传感器的应用

由于光栅位移传感器测量精度高（分辨率为0.1um。)，动态测量范围广（0～1000mm)测量精度高动态测量范围广分辨率：0.1um0～1000mm无接触测量自动化数字化

因而在机械工业中得到了广泛的应用。机械工业量具、数控机床闭环反馈控制工作主机坐标测量

光栅位移传感器起着重要的作用光栅位移传感器

如图5-3-5所示为安装直线光栅的数控机床。图5-3-5安装直线光栅数控机床

2.光栅传感器的安装与调试光栅传感器的安装与调试

从光栅的使用寿命考虑，一般将主光栅尺安装在机床或设备的运动部件上光栅的使用寿命

而读数头则安装在固定部件上光栅的使用寿命固定部件

反之亦可，但对读数头引出电缆线的固定要采取保护措施。电缆线的固定保护措施合理的安装方式还要考虑切削冷却液等的溅向问题

光栅传感器对安装基面也有一定要求，不能直接固定在粗糙不平或涂漆的床身上。安装基面不能直接固定在粗糙不平或涂漆的床身

安装基面应达到直线度误差≤0.1mm/m，表面粗糙度R≤6.3um，与机床相应导轨的平行度误差在全长范围内≤0.1mm安装基面直线度误差：≤0.1mm/m表面粗糙度：R≤6.3um与机床相应导轨的平行度误差在全长范围内≤0.1mm

如达不到此要求安装基面直线度误差：≤0.1mm/m表面粗糙度：R≤6.3um与机床相应导轨的平行度误差在全长范围内≤0.1mm

则要求制作专门的光栅主尺尺座和一个与尺身基座等高的读数头基座专门的光栅主尺尺座与尺身基座等高的读数头基座

两者之间的要求如图5-3-6所示。图5-3-6光栅传感器的基座（a）主尺尺座（b）读数头基座

3.使用光栅传感器应注意的几个问题使用光栅传感器注意事项

①插拔读数头与数显表的连接插头时读数头数显表1关闭电源

②使用过程中应及时清理溅落在测量装置上的切屑和冷却液2切屑冷却液严防异物进入壳体内部

③应保持光栅尺的清洁，可每隔一年用乙醚清洗尺面。3

④为防止工作台移动超过光栅尺长度而撞坏读数头4防止工作台移动超过光栅尺长度而撞坏读数头

可在机床导轨上安装限位装置4在机床导轨上安装限位装置

此外，在购买光栅尺时，其测量长度应大于工作台的最大行程。4光栅尺测量长度大于工作台的最大行程

同学们，通过今天的学习，大家对压电效应的知识都掌握了吗？Thankyou谢谢大家谢谢大家位移检测、速度和加速度检测