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低温多晶硅薄膜晶体管的动态栅应力退化研究中文摘要
低温多晶硅薄膜晶体管的动态栅应力退化研究
摘要
低温多晶硅（Low-TemperaturePolycrystallineSilicon，LTPS）薄膜晶体管
（Thin-FilmTransistor，TFT）作为有源显示像素电路的关键器件，在实际应用过程
中会长期受到动态栅脉冲应力的作用来周期性地刷新像素点，而动态栅应力会导
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