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微机械陀螺仪的基本工作原理、主要特点及应用情况主讲人：宋璐学号：2120121012内容提要*基本工作原理应用情况概述主要特点1.概述*MEMS：MicroElectroMechanicalsystems微机械陀螺仪，也叫硅微陀螺仪、微机电陀螺仪，它被誉为指尖上的陀螺仪。微米/纳米技术：micro/nanotechnology1.1分类*振动结构：线振动结构和角振动结构材料：硅材料和非硅材料驱动方式：静电驱动式、电磁驱动式和压电驱动式检测方式：电容性检测、压阻型检测、压电性检测、光学检测和隧道效应检测工作方式：速率陀螺仪和速率积分陀螺仪加工方式：体微机械加工、表面机械加工和LIGA加工方式等1.2微机械陀螺技术
与国外的差距MEMS工艺条件和国外相比存在较大的差距，产品加速度敏感性普遍偏大微弱信号检测及专用集成电路水平和国外相比存在较大的差距国内硅微机电陀螺仪的工程化水平和国外相比存在较大的差距国内硅微机电陀螺仪加速度敏感性普遍偏大国内硅微机电陀螺技术在设计理论研究上和国外存在差距1.3研究现状与研究意义*目前，微机械陀螺仪还属于中、低精度范畴，它们的研制成功将投入更多的军事和商业应用。尤其在军事方面，通过采用微机械陀螺仪技术，可以把制导、导航和控制引入以前未能考虑的一些武器系统中，典型的如各种制导炮弹和弹丸。内容提要*概述基本工作原理主要特点应用情况2.基本工作原理*基于哥氏效应工作2.基本工作原理*框架式微机械振动陀螺仪结构形式2.基本工作原理*框架式微机械振动陀螺仪的控制系统框图内容提要*概述基本工作原理主要特点应用情况DCAB3.主要特点*与现有机械转子式陀螺仪或光学陀螺仪相比，其主要特点如下：1体积和能耗小2成本低廉，适合大批量生产；3动态范围大，可靠性高，可用于恶劣力学环境；4准备时间短，适合快速响应武器；5中低精度，适合短时应用或与其他信息系统组合应用；6由于硅材料固有的温度敏感性，需要对硅微陀螺仪的温度特性作特别处理。7
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