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SOI技术概述:集成电路的创新基础;课程目标与内容概览;SOI技术的定义与基本概念;SOI技术发展历史回顾;SOI与传统体硅工艺的对比;SOI晶圆的基本结构;SOI晶圆制造工艺流程;SmartCut技术原理;SIMOX技术原理;BondingSOI技术原理;SOI器件的工作原理;部分耗尽型SOI器件特性;完全耗尽型SOI器件特性;漂浮体效应分析;热效应机理;寄生晶体管效应;自加热效应处理方法;衬底偏置效应;SOI器件的设计考虑因素;SOI工艺设计规则;SOICMOS工艺流程;SOI器件隔离技术;SOI沟道工程技术;源漏工程优化;栅极工程设计;SOI器件的可靠性分析;击穿电压特性;漏电流控制;阈值电压调节技术;SOI器件的静态特性;SOI器件的动态特性;SOI器件的频率响应;SOI技术的优势分析;功耗降低效果;开关速度提升;抗闩锁效应能力;抗辐射性能;高温工作特性;SOI技术在模拟电路中的应用;SOI技术在数字电路中的应用;SOI技术在射频电路中的应用;SOI技术在功率器件中的应用;SOI技术在传感器领域的应用;SOI技术在光电子器件中的应用;SOI工艺良率提升策略;SOI器件测试方法;SOI器件可靠性验证;SOI技术的成本分析;SOI技术的市场现状;SOI技术的发展趋势;先进SOI技术研究方向;多栅SOI技术;超薄体SOI技术;应变SOI技术;SOI与新材料的结合;SOI技术面临的挑战;SOI技术的未来展望;主要IC企业SOI技术布局;国内SOI技术发展现状;结论与总结
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