半导体器件 实际振动环境下运动能量收集器件的测量和评价方法 第1部分：随机振动.pdfVIP

半导体器件实际振动环境下运动能量收集器件

的测量和评价方法第1部分：随机振动

1范围

本文件规定了运动能量收集器件相关的术语、定义，以及一维机械振动试验方法，以此来确定器件

在实际振动环境下的特征参数。这类器件通常有自身的非线性机制，能够在宽频范围内有效收集振动能

量。

本文件适用于不同能量转换机制的振动能量收集器件（如电磁式、压电式、静电式等），以及对外

部机械激励有不同非线性响应的能量收集器件。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

运动能量收集器件kineticenergyharvestingdevice

能将机械能转化为电能的器件。

3.2

额定频率ratedfrequency

规定的频率。

3.3

正弦振动sinusoidalvibration

规定频率的正弦加速度波形的振动。

3.4

随机振动randomvibration

给出规定频率范围的、明确恒定均方根（RMS）加速度谱密度的宽带频谱振动。

注1：详见附录B。

3.5

背景噪声backgroundnoise

无驱动信号时的振动加速度。

3.6

横向灵敏度比transversesensitivityratio

横向振动加速度与主加速度之比。

4运动能量收集器件特征

运动能量收集器件的特征取决于能量转换机制（如电磁式、压电式、静电式）、器件设计以及对宽

频段的响应方式（如非线性弹性、双稳态弹性、上变频）。在定频振动、扫频振动、随机振动下可监测

运动能量收集器件的输出电压、功率。

附录A为三种运动能量收集器件的示例。

附录B为随机振动定义。

5振动试验设备

5.1概述

带功能模块或单元的能量收集器件振动试验设备的示意图见图1。功能模块或单元的详细介绍见

5.2~5.6。

1被试器件

2振动激励源

3振动控制器

4安装夹具

5加速度传感器

6外加负载/读出电路

7数据记录器

图1运动能量收集器件振动试验设备示意图

5.2振动激励源

振动激励源应能沿规定方向产生规定频率的振动加速度。同时被试器件垂直于振动方向的振幅应足

够小。该振幅（横向灵敏度比）推荐小于振动方向振幅的10%。

振动加速度的控制可采用以下两种方式：

a)恒定振幅控制：在规定振动频率下通过检测和控制被试器件振幅的方式控制振动加速度；

b)恒定加速度均方根值控制：在规定振动频率下通过直接检测和控制振动加速度的方式控制振动加

速度。

一般情况下，当振动激励源的驱动电压保持恒定时，振动加速度随着振动频率的变化而变化。因此，

应通过在不同频率下进行初始振动试验的方式或通过由图1中加速度传感器提供的加速度信号在线反

馈控制驱动电压的方式，补偿振动激励源在不同频率下的增益。

5.3安装夹具

被试的运动能量收集器件应通过夹具安装在振动激励源上，以确保振动可以正确驱动被试器件。此

外，振动激励源产生的振动方向与被试器件规定的振动方向误差应在2°以内。

5.4加速度传感器

加速度传感器用于测量夹具或被试器件的振动加速度。

5.5读出电路

读出电路应能测量外加负载上的电压和运动能量收集器件的输出功率，其测量误差应在3%以内。

输出探测器的采样频率应足够高（至少为最高频率元件的两倍），确保可以精确捕捉输出电压的波形。

5.6数据记录器

运动能量收集器件的试验系统应包含数据记录器，用于记录数据。

6试验台和器件的准备

6.1通用要求

用于试验的运动能量收集器件应指明安装方式和振动方向。被试器件应通过夹具安装在振动激励源

上，电输出应与外部负载连接。在进行实际功率的试验之前试验台应按6.2和6.3进行初始评估。

6.2振动条件评估

试验前应确认以下内容：

a)为避免波形畸变，振动激励源的最大正弦力