发明公布-201610385672.8-一种高纯氟气和含氟混合气的生产方法和生产装置.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN107459020A

(43)申请公布日

2017.12.12

(21)申请号201610385672.8

(22)申请日2016.06.03

(71)申请人和立气体（上海）有限公司

地址201508上海市金山区山阳镇山磊路

188号6幢

(72)发明人梁成科

(74)专利代理机构上海宏京知识产权代理事务

所(普通合伙)31297

代理人邓文武

(51)Int.Cl.

C01B7/19(2006.01)

C25B1/24(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图1页

(54)发明名称

一种高纯氟气和含氟混合气的生产方法和

生产装置

(57)摘要

本发明公开了一种高纯氟气和含氟混合气

的生产方法和生产装置，其主要由无水氟化氢钢

瓶、电解槽、固渣捕集器、冷却除酸器、酸吸附塔、

缓冲罐、中间压缩机、纯化器、微粒过滤器、产品

贮罐、充装压缩机、成品容器、氢气洗涤塔组成。

其生产方法包括：干燥的氮气充入无水氟化氢钢

瓶；无水氟化氢呈液相加入电解槽；电解反应产

生氟气；氟气进入固渣捕集器除去粒状物；氟气

进入冷却除酸器，去除掉HF；进入酸吸附塔除去

气相氟化氢；进入缓冲罐并由中间压缩机加压送

入纯化器；进入微粒过滤器除去吸附剂微粒；进

A入产品贮罐；充入产品钢瓶。本发明的有益效果

0为：氟气纯度高、生产工艺简单、操作性能安全可

2

0

9靠、系统运行稳定、可实现连续性生产和连锁自

5

4

7控。

0

1

N

C

CN107459020A权利要求书1/2页

1.一种高纯氟气和含氟混合气的生产方法，其特征在于，其包括以下步骤：

S1、将干燥的氮气充入无水氟化氢钢瓶，并使钢瓶内的压力控制在0.1Mpa～0.3Mpa；

S2、无水氟化氢在钢瓶内的压力作用下，呈液相通过流量计计量，并连续加入电解槽；

S3、进入电解槽的氟化氢与槽内的电解质组成电解液，在电流作用下发生电化学反应，

电解产生氟气和氢气；

S4、由电解槽阳极出来的氟气，进入固渣捕集器，在常温、常压下，除去其中电解液冷却

固化后的粒状物；

S5、去除粒状物之后的氟气进入冷却除酸器中，在常压下，冷却到-15℃～-5℃，使其中

的HF被液化除去；

S6、除去大量HF后的氟气，进入酸吸附塔，常压下，通过设于酸吸附塔内的氟化钠吸附

剂吸附除去其中的气相氟化氢；

S7、除去气相氟化氢后的氟气进入缓冲罐，调节缓冲罐内的系统压力使其稳定在100pa

～500pa；

S8、缓冲罐中的氟气，由中间压缩机加压至0.01Mpa～0.5Mpa

并送入纯化器；

S9、纯化后的氟气含量≥99.0%时，纯化后的氟气进入微粒过滤器，除去带来的吸附剂

微粒；

S10、除去微粒后的氟气进入产品贮罐，并根据需要，利用不同的贮罐和其它高纯气体

配制不同的电子工业用气体；

S11、配置好的混合气产品由充装压缩机加压,充入产品钢瓶。

2.根据权利要求1所述的一种高纯氟气和含氟混合气的生产方法，其特征在于，步骤S1

所述无水氟化氢钢瓶上设有压力传感变送器和进气电磁阀，所述压力传感变送器通过与进

气电磁阀相连的PLC控制器控制进气电磁阀的开关，实现对无水氟化氢钢瓶内部压力的控

制。

3.

根据权利要求1所述的一种高纯氟气和含氟混合气的生产方法，其特征在于，步骤

S3所述电解槽在装置运行前须进行以下准备：其阳极必须先用干燥氮气进行充气减